Системы виброзащиты оборудования

Для подавляющего большинства предприятий с парком точного оборудования является больным вопрос вибраций, критически влияющий на некоторые технологические процессы, такие, как фото- и проекционная литография, инспекция на оптических микроскопах, работа с АСМ, СЗМ и пр. Расположение лабораторий рядом с трамвайными путями, железной дорогой или на высотных этажах сильно усугубляют ситуацию с вибрациями и требуют от них защиты.

Стандартные пассивные решения защиты от вибраций (массивные антивибрационные столы с пневматическими подушками и гранитными плитами) рассчитаны на стандартные вибрации от, например, прохождения человека и не учитывают факторы, привносящие вибрации извне производственных помещений.

Даже внутри чистых комнат и серых зон, помимо человеческого, остаются и техногенные факторы привнесения вибраций – работа двигателей вытяжек, компрессоров форвакуумных насосов и пр. В случае наличия развязанного антивибрационного фундамента под определенные установки (например, степперы или АСМ) проблема снимается, но не у каждого предприятия есть возможность его сделать в силу финансовых или конструктивных причин.

Для защиты от вибраций столь широкого диапазона частот недостаточно пассивных антивибрационных столов, ведущими компаниями разрабатываются активные антивибрационные системы как на пьезоэлементах, так и на сервоприводах.

Антивибрационные столы на пьезоэлементах имеют свои недостатки, основной из которых – деградация пьезоэлемента, менять который приходится раз в два-три года.

Наш партнер, израильская компания K&S, производит системы активной виброзащиты оборудования по собственной уникальной запатентованной технологии. Кроме стандартных настольных антивибрационных платформ для, например, микроскопов, компания предлагает антивибрационные основания под ножки тяжелого (до 4 тонн) оборудования – степперов, систем проекционной литографии, нанотехнологического оборудования. Активная защита предусматривает предварительное измерение частоты вибрации, адаптация антивибрационного основания под нее и эмуляцию вибраций в противофазе при ее возникновении. Платформы имеют не только систему активного гашения вибраций, но также их анализа, адаптации, учет логов и подсоединение к интернету, то есть возможность удаленного наблюдения за поведением основания лаборатории или ее фундамента как в удаленном управляющем центре на самом предприятии, так и в лаборатории предприятия-изготовителя антивибрационной платформы для лучшей адаптации конкретной антивибрационной платформы под конкретную установку.

Более того, компания выпускает системы с эмуляцией вибраций, позволяющие измерить на вашем предприятии частоту вибраций и их силу, воссоздать ее на заводе K&S и подобрать вам именно ту платформу, которая позволит максимально эффективно их гасить.


Кроме настольных и напольных платформ, предлагаются также небольшие пассивные основания под форвакуумные насосы, которые ставятся рядом с основной установкой.

Компания предлагает не только готовые решения, но также индивидуальные в особо сложных случаях.

Как и всегда, сервис установок обеспечивается нашими собственными инженерами ТБС, обученными производителем антивибрационных систем.

Выбрать систему виброзащиты оборудования