На предприятии в Москве и на Воронежском Заводе Полупроводниковых Приборов (г. Воронеж) были запущены установки центробежной отмывки и сушки пластин MOT μSRD.

Установка разработана для очистки и сушки пластин партиями после жидкостной химической обработки. Обеспечивает качественную и быструю очистку и сушку, легкость работы и обслуживания. Одиночные кассеты с пластинами помещаются в ротор из нержавеющей стали. Корпус устройства изготовлен из устойчивого к химическому воздействию (кислоты/щелочи) пластика PP (цвет натуральный).

Специальная конструкция для работы в чистой среде, легко совмещается со шкафами для жидкостной обработки. Простой и удобный пользовательский интерфейс: оператору нужно лишь выбрать рецепт. Встроенный экономичный и эффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока; автоматизированный и надежный. Возможность программирования отдельных рецептов или их комбинаций в одной рабочей программе: распыление, промывка и прокрутка программируются в любом порядке и комбинациях.