---

Компании SUSS Microtec в этом году исполнилось 70 лет. ТБС, являясь эксклюзивным агентом в России, приурочил к этой дате 50ю юбилейную поставку установки совмещения MJb4, доведя цифру парка инсталированных систем экспонирования в России до 70. Об этих красивых цифрах и других вопросах рассказал в своем интервью директор компании ТБС Андрей Тимошин.

С этим, и другими материалами, вы можете так же ознакомиться в разделе «Наши публикации».

Андрей Владимирович, чем интересна компания SUSS Microtec?
Говоря о SUSS, стоит начать с долгой истории компании, была основана Карлом Зюссом в Мюнхене в 1949 году. Здесь надо отметить, что даже в советское время имя Карл Зюсс было связано с эталоном качества, с немецкими, в широком понятии надежными, удобными и достаточно простыми в управлении установками. У некоторых наших клиентов есть установки Карл Зюсс, купленные в 80-х годах, и они до сих пор прекрасно функционируют, обеспечивая хорошее качество фотолитографии. Конечно, это не современные субмикронные технологии, но для технологии начиная от 2 мкм и выше – это очень достойные установки. Более того, компания SUSS до сих пор обеспечивает их сервисную поддержку, и они находятся в работоспособном состоянии. В советское время мечтой каждого ученого было иметь установку фотолитографии SUSS и, что приятно, это желание никуда не исчезло. Люди приходят к нам на стенды, на выставки и семинары, узнают и вспоминают это имя и рады удостоверится в том, что современные установки ничем не хуже по надежности и удобству эксплуатации, а во многом, конечно же, уже и лучше в соответствии с современными требованиями. Оборудование SUSS – это своего рода «машина мечты» для любых пользователей, в том числе современных молодых ученых.

Какое место занимает SUSS среди партнеров ТБС?
SUSS MicroTec, официальным представителем которой мы являемся с 2004 года, один из наших основных партнеров. Продажи в России занимают около 10% всех европейских продаж SUSS, а это значит, что российский рынок важен для поставщика, и клиенты в России получают достаточно внимания со стороны производителя.. С того момента, как мы начали продавать установки SUSS, мы так же начали и обслуживать их и инсталляционная база установок SUSS на данный момент насчитывает порядка 180 единиц из 500 всего поставленных нашей компанией, соответственно треть проданных установок нами – это установки производства компании SUSS MicroTec.
Какое оборудование SUSS MicroTec вы считаете наиболее востребованным для российского рынка?
Конечно, основной спрос составляет оборудование для НИОКР (установки экспонирования MJB4, MA6, нанесения и проявления фоторезистов LabSpin, RCD8, бондинга SB6), но нельзя не отметить усилившийся в последнее время интерес к автоматическим установкам. На данный момент мы уже поставили и обслуживаем более 15 больших автоматических кластерных систем, работающих в 24-часовом режиме.
Мы также видим интерес к комплексным решениям (например, временной посадки пластин на носитель с последующим разделением), которые полностью обеспечиваются компанией SUSS.
Не в последнюю очередь высокий интерес к оборудованию SUSS связан с тем, что компания достаточно гибко подходит к санкционным вопросам. У нас не было ни единого случая, когда бы оборудование SUSS не было поставлено клиенту по причине санкционных запретов, и таких случаев не предвидится. Оборудование не проходит разрешительную процедуру в BAFA (за исключением установок с наноимпринт-литографией), что также положительно сказывается на сроках отгрузки.

С какими проблемами приходится сталкиваться SUSS на российском рынке?
Одна из основных проблем – это неумение некоторых отечественных заказчиков работать с высококачественным технологичным оборудованием. Ожидания, что установка будет работать годами без должного ухода, разбиваются подчас о внезапно возникшую проблему, которую надо было решить «вчера». И мы, как партнер SUSS, вынуждены иногда в авральном режиме решать проблемы, которые могли бы предотвратить при регулярном сервисном обслуживании. Неломающегося оборудования не бывает, вопрос в том, насколько быстро реагирует и оперативно устраняет проблемы служба сервиса. Это понимают инженеры на местах, однако руководство до сих пор подчас не выделяет достаточно средств на грамотную поддержку установок. Однако не может не радовать, что уже сейчас многие сразу при закупке оборудования закладывают эти расходы.

Каковы преимущества MJB4 по сравнению с аналогами?
В первую очередь эта установка позволяет делать субмикронную фотолитографию с гарантированными точностями с 0.5-0.6 микрона. У наших клиентов есть успешный опыт создания затворов на 0.3-0.35 микрона, хотя это, конечно, уже больше искусство оператора и его опыт, чем повторяемость из-за аппаратной составляющей. В то же время, если мы видим, что такие опыты удаются, это значит, что MJB4 имеет очень большой запас прочности по функционалу, а также установка очень устойчива к разным видам механических повреждений. По тем 50-ти установкам, что мы поставили и обслуживаем, некоторые покупатели обращались с проблемами, но проблемы были настолько незначительны, что они решаются от одного до нескольких дней. Это действительно очень надежная установка, обеспечивающая субмикронную литографию и которой практически нет аналогов по этим параметрам ни на нашем рынке, ни на мировом. Сейчас у SUSS вышли новые модели, с цифровыми микроскопами, виртуальным ассистентом совмещения, с точностями совмещения до 0.25 микрона, но MJB4 до сих пор пользуется заслуженным спросом.

Как ведется совместная работа ТБС и SUSS по поставкам оборудования?
Мы в компании ТБС подходим достаточно гибко к поставкам оборудования, мы никогда не блокируем закупки на себя. Если покупатель хочет купить напрямую – пожалуйста, может обеспечиваться прямой контракт с компанией SUSS, а может обеспечиваться и контракт через компанию-интегратора. У многих клиентов есть интеграторы, в том числе строительные компании, которые берут на себя вопросы поставки оборудования. Мы отвечаем здесь за техническую составляющую, всегда проговариваем все технические параметры установки с инженерами заказчика, чтобы была получена установка с реально необходимым набором параметров для обеспечения необходимого процесса, и эти технические переговоры обязательно ведутся через нас. Компания SUSS всегда переправляет и доверяет нам все технические вопросы. В отдельных случаях мы не касаемся финансовых вопросов, это дело покупателя, если он покупает напрямую и по цене они договариваются сами, но как только установка попала в Россию, мы, как официальный агент, обязаны сделать ее запуск и обеспечить гарантийное обслуживание. Таким образом нет сложностей у компании-интегратора, не нужно задумываться о запуске и поиске инженеров, об обеспечении гарантийного ремонта. Вы можете быть совершенно уверены, что всегда получите сервисное обслуживание и грамотный гарантийный и пост-гарантийный сервис. Однако и наша компания сама поставляет оборудование, мы участвуем в тендерах и, как агент, можем обеспечить очень гибкие условия поставки, вплоть до случаев, когда оборудование оплачивается после запуска и сдачи процесса.

Как вы оцениваете перспективы для SUSS в ближайшем будущем, каковы прогнозы для российского рынка?
В настоящее время отечественный рынок претерпел некоторые изменения, в том числе из-за санкций, но SUSS открыто подходит к этому вопросу и повторюсь, у нас не было никаких запретов на импорт оборудования до сих пор и не предвидится в будущем. Я считаю, что компания SUSS MicroTec осталась одной из немногих на отечественном рынке с адекватной ценой при очень хорошем качестве и надежности установок. Поэтому я думаю, что планы и прогнозы самые радужные и мы видим, что рынок высокотехнологичного субмикронного оборудования остается за компанией SUSS и она только усиливает свои позиции на российском рынке. По системам нанесения и проявления тоже самое. Мы видим увеличение спроса как на ручные системы, на полуавтоматические, так и на полностью автоматические кластерные системы.
Сейчас на рынке остались фактически только те компании, которые с самого начала ориентировались не на перепродажу, а на качество оказываемых услуг и диапазон сервиса, и ТБС здесь не исключение. Мы рады и далее помогать отечественным производителям в выборе и эксплуатации самого современного оборудования для микроэлектроники.