---

В Научно-производственном комплексе «Технологический центр» МИЭТ (г. Зеленоград, Московская область) была запущена автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168.

ResMap 168 – позволяет измерять сопротивление полупроводниковых пластин и нанесенных на них слоев. Микропроцессор позволяет вычислить слоевое или полное сопротивление, V/I, толщину слоя металлизации и делать тестирование P-N перехода. Электроника и механизм зондов находятся в одном простом корпусе. Прочный корпус из литого алюминия обеспечивает механическую целостность механизма зонда. Механизм зондирования дает постоянное усилие на тестовой головки путем жесткой фиксации в корпусе. В отличии от большинства четырехзондовых и зондовых станций, которые двигают зондовую головку по полупроводниковой пластине, ResMap 168 разработан так чтобы пластина двигалась по зондовой голове. Это обеспечивает постоянное усилие независимо от приложенного усилия оператора и толщины пластины.