Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168

США
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления предназначена для измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых пластин и нанесенных на них слоев

Производитель: CDE
Страна производитель: США

Основные возможности:

  • ручная загрузка пластин диаметром от 2” до 8”, а также кусков пластин
  • измерение удельного поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
  • автоматическое перемещение четырехзондового пробника по точкам измерения на поверхности пластины для картирования распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
  • построение карт распределения удельного поверхностного сопротивления на поверхности пластины и получения данных для обработки в Excel
  • автоматический подсчет и вывод информации на дисплей считываемых данных, слоевого сопротивления, V/I толщины металлизации и P-N типа
  • система автоматически самостоятельно калибруется для каждых измерений с точностью до 0,5%
  • легкая в управлении, простая загрузка полупроводниковых пластин и легкое закрытие крышки

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 168 позволяет измерять сопротивление полупроводниковых пластин и нанесенных на них слоев. Микропроцессор позволяет вычислить слоевое или полное сопротивление, V/I, толщину слоя металлизации и делать тестирование P-N перехода. Электроника и механизм зондов находятся в одном простом корпусе. Прочный корпус из литого алюминия обеспечивает механическую целостность механизма зонда. Механизм зондирования дает постоянное усилие на тестовой головки путем жесткой фиксации в корпусе. В отличии от большинства четырехзондовых и зондовых станций, которые двигают зондовую головку по полупроводниковой пластине, ResMap 168 разработан так чтобы пластина двигалась по зондовой голове. Это обеспечивает постоянное усилие независимо от приложенного усилия оператора и толщины пластины.

Индексатор держателя пластины реализует высокую повторяемость позиционирования зонда на пластине. Механизм подключения делает очень простой замену зондовой головы. Электромагнитные помехи на материалах с высоким сопротивлением минимизированы благодаря внутреннему заземлению шасси. Измерение происходит автоматически как только пластина взаимодействует с иглами зонда. Дополнительные измерения могут быть повторно сделаны, не поднимая крышку, нажав кнопку повторного тестирования . Измерение нормального (прямого) или обратного тока делаются при каждом измерении. Это приводит к автоматической индексации, позволяет избегать ошибок, если наконечники зонда не настроились или чрезмерно изношены. Сомнительные и недействительные тесты отображаются с кодом ошибка.

Усилитель автоматически калибруется для каждого измерения с точностью +/- 0.5% от 5.0 мили Ом до 5 кило Ом. Напряжение тока тестирования непрерывно изменяемо для минимизации помех и максимизации качества сигнала. Толщину слоя или участка необходимые для вычисления сопротивления вводят с помощью клавиатуры в микронах, мильсах или ангстремах. Задается толщина слоя. ResMap 168 так же может составить карту сопротивлений с компенсацией краевых эффектов для тонких полупроводниковых слоев, особенно для тех которые образуются при ионной имплантации.

ResMap 168 позволяет автоматически выбрать тип полупроводника .Сначала запускается корректирующий тест, а затем если необходим термический. Если результаты не устраивают высвечиваются индикаторы для N и для P. Если необходимо прибор может подать короткий импульс с низкой силой тока и высоким напряжением на иглы с целью проникновения сквозь изолирующие слои на тестируемом приборе. Так же возможно проведение проникающего и вводящего теста. В тоже время проникающие тесты могут быть отменены из нутрии или снаружи, если не предумышленно был оказано вредное воздействие на тестируемый прибор.


Свойства ResMap 168: 
  • Компактный встраиваемый зонд и дисплей 
  •  Микропроцессор с автоматическим регулированием
  • Дисплей с четырьмя установками 
  • – Сопротивление слоя
    – Напряжение/ток
    – Удельное сопротивление или слоевое с известной толщиной
    – Толщина в A, MILS, мкм слоя с известной удельным сопротивлением

  • Автоматическое выполнение измерения вперед и назад каждый раз как крышка закрыта
  • Кнопка RETEST для дополнительного измерения без отвода зонда
  • Автоматическое сохранение последнего подсчета после сканирования и до следующей операции
  • Дисплей отображающий ошибки операций, чтения или электроники
  • Расширенный диапазон измерений  до 450 кило Ом/квс резолюцией до 0,001 милиОМ/SQ
  • Высокая точность 0.5% на измерения в диапазоне   от 2 до  5  мили Ом. Если вне этого диапазона  +/- 8.0% 

  • Автоматическая проверка неисправности 

  • Самокалибруемая схема обеспечивающая высокую точность

  • Индексирующий держатель подложки позволяющий делать процесс повторяемым

  • Повторяемость зондирования не зависит от силы оператора и толщины подложки

  • Встроенная RFI и световая защиты для измерений высоких сопротивлений

  • Подключение адаптера зонда делает смену зондовой головки очень простой

  • Режим ввода N и P типов для большинства полупроводниковых подложек  или слоев

  • Режим проникновения обеспечивает высокую энергию импульса проникающие через диэлектрические слои и позволяющие снимать показатели

  • Возможность отключить режим проникновения

  • Автоматический подсчет поправочных коэффициентов для компенсации колебания зонда  

Параметры электрических подключений:
 ResMap 168 требует 115/230 VAC +/- 10%, 50/60 Гц, 30 ватт

Уровень геометрической коррекции:
Основан на двузондовой технологии. Отображается если рассчитанная геометрическая коррекция между 4.18 и 4.82. Если рассчитанное показание выше или ниже на дисплее высвечивается: SHEET, SLICE, and THICK.

Конфигурация:
Материал пластин: кремний (Si). Размер пластин: 6 дюймов
Слои: SiO2, Al, Ti, NiCr

Параметр Величина
Загрузка пластин
Автозагрузка из кассет
Максимальный диаметр пластин
8,2”
Максимальный размер квадратных пластин
5,8” x 5,8”; 156 мм x 156 мм
Типичное время измерения
1 сек. на точку
Максимальная производительность
1 минута на пластину (49 точек)
Диапазон измерения удельного поверхностного сопротивления
2 мОм/кв – 5 МОм/кв (может быть расширен до 1 мОм)
Воспроизводимость (1σ, обычно)
≤ ± 0,02 % (статическая или набор Rs);

≤ ± 0,1 % (динамическая - по соседним точкам)
Точность
≤ ± 0,5 %, при использовании ResCal - поверочных стандартов NIST
Размер непроверяемой зоны
1,5 мм (от центра зонда до края пленки)
Компьютерная система
Класс Pentium®4; Windows XP Home (дисплей не включен в поставку)
Опция SECS-II
Доступна
Схемы картирования
  • полярное картирование (ориентация по метке / срезу);
  • прямоугольное картирование (выборка поля внутри за исключением краев);
  • сканирование по линии (диаметр, радиус или любая точка, на диаметре, минимальный шаг 0,1 мм);
  • определенная пользователем матрица точек.
Построение диаграмм
  • изолинейных (выбор интервала, 1/3 σ, фиксированных и автопроцентованных);
  • трехмерных;
  • линейных;
  • карт данных;
  • гистограмм;
  • последовательностей данных;
  • радиальных и угловых распределений;
  • доступно построение карт трендов различных типов.
Данные
Все файлы данных могут быть перенесены для дальнейшего анализа в такие программы, как Excel.
Инженерное обеспечение
Электропитание
(100 – 240) В, 50 Гц, <10 кВА
Размер Ш x Д x В, дюймы
12” x 19” x 10”



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования resmap 168


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования resmap 168
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх