---

Компания SUSS MicroTec, ведущий поставщик оборудования и технологических решений для полупроводниковой промышленности и взаимосвязанных рынков, запускает абсолютно новую автоматическую систему XBS200 для сращивания предварительно совмещенных пластин размером до 200 мм.

Универсальность и модульная конструкция системы, а также новейший метод передачи совмещенных полупроводниковых пластин обеспечивают максимальную гибкость процесса сращивания, надежность результатов и бесперебойность работы. Внедрение платформы XBS200 в крупносерийное производство МЭМС, LED устройств и 3D-ИС будет способствовать значительному снижению производственных затрат.

Новый модуль совмещения, разработанный при использовании запатентованной SUSS MicroTec технологии взаимного выравнивания подложек (Inter-Substrate Alignment, ISA-технология) позволяет проводить последовательное совмещение с субмикронной точностью. Автоматическая калибровка и контроль совмещения обеспечивают оптимальную воспроизводимость.  

Рабочая камера сращивания системы выполнена на основе автономного бондера для пластин XB8. Доступен широкий диапазон регулирования температурных параметров (до 550°C) и контактного усилия сращивания (до 100кН). Инновационная конструкция механической и температурной части рабочей камеры позволяет получить оптимальное усилие сращивания и равномерное распределение температуры по всей пластине.

«Создание новой платформы XBS200 позволило компании SUSS MicroTec выйти на рынок автоматических систем сращивания пластин. Установка XBS200 изготовлена на базе успешной платформы для временного сращивания пластин с учетом требований наших заказчиков», говорит Стефан Люттер, руководитель направления оборудования для сращивания пластин. «Система XBS200 обеспечивает высокую точность совмещения, воспроизводимость и высокую производительность при небольшом занимаемом пространстве, а также поддерживает заданный уровень температуры и усилия сращивания, позволяя получить максимальный выход готовой продукции.»

Другие установки для сращивания пластин Вы можете посмотреть на сайте компании «ТБС».