Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Автоматическая платформа для сращивания пластин SUSS XBS200

Германия
  • картинка

Предназначена для сращивания предварительно совмещенных пластин размером до 200 мм. Универсальность и модульная конструкция обеспечивают максимальную гибкость процесса при решении всех задач сращивания пластин.

Производитель: SUSS MicroTec
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Субмикронная точность совмещения
  • Высокая воспроизводимость процесса
  • Низкая себестоимость при крупносерийном производстве
  • Усилие сращивания: 60 или 100 кН
  • Температура: ≤ 550 °C
  • Давление: 5x10-5 мбар – 3 бар
  • Прецизионный контроль всех параметров процесса сращивания
  • Быстрый нагрев (40 K/мин) и активное охлаждение (40 K/мин)
  • Размер пластин: до 200 мм
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Автоматическая платформа XBS200 предназначена для сращивания предварительно совмещенных пластин размером до 200 мм. Универсальность и модульная конструкция обеспечивают максимальную гибкость процесса при решении всех задач сращивания пластин. Принципиально новый регулируемый способ передачи пластин исключает проблемы, возникающие при работе с традиционными системами, и обеспечивает надежность результатов процесса и бесперебойность работы. Внедрение платформы XBS200 в крупносерийное производство МЭМС, LED и 3D-устройств позволит значительно снизить себестоимость процесса.

Основные модули


Модуль загрузки материалов MHU-Material Handling Unit


Платформа XBS200 позволяет как перемещать одиночные пластины, так сращивать предварительно совмещенные пластины. Она включает в себя станцию загрузочных/разгрузочных кассет для пластин со встроенным сканирующим устройством разметки и оптическое устройство предварительного совмещения с опциональными ID-считывателями. Дополнительная система камер позволяет контролировать и хранить информацию о процессе.

Модуль совмещения XBA-Bond Aligner


Модернизированный модуль совмещения XBA, разработанный при использовании запатентованной SUSS MicroTec ISA-технологии (взаимное выравнивание подложек), обеспечивает последовательное совмещение прозрачных или непрозрачных пластин с субмикронной точностью. Система постоянной калибровки является неотъемлемой составной частью модуля XBA и делает автоматическую калибровку и контроль совмещения простым и быстрым.

Камера сращивания XB200-Bond Chamber


Камера сращивания XB200 – это модуль на основе автономного бондера для пластин XB8. Благодаря широкому диапазону параметров камера подходит для проведения любого термокомпрессионного процесса сращивания. Воспроизводимость результатов процесса от пластины к пластине позволяет получить продукт стабильно высокого качества. Доступны версии с усилиями сращивания 60 кН и 100 кН и температурным диапазоном до 550°C.

Система поддерживает проведение всех типов сращивания:

  • Анодное сращивание (Anodic Bonding)
  • Термокомпрессионное сращивание (Thermo-compression Bonding)
  • Эвтектическое сращивание (Eutectic Bonding)
  • Пайка стеклокристаллическим припоем (Glass Frit Bonding)
  • Прямое сращивание (Fusion Bonding)
  • Адгезионное (клеевое) сращивание (Adhesive Bonding)
  • Временное сращивание (Temporary Bonding)

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх