Автоматическая платформа для сращивания пластин SUSS XBS200

Предназначена для сращивания предварительно совмещенных пластин размером до 200 мм. Универсальность и модульная конструкция обеспечивают максимальную гибкость процесса при решении всех задач сращивания пластин.

Производитель: SUSS MicroTec

Страна-производитель: Германия

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Субмикронная точность совмещения
Высокая воспроизводимость процесса
Низкая себестоимость при крупносерийном производстве
Усилие сращивания: 60 или 100 кН
Температура: ≤ 550 °C
Давление: 5x10-5 мбар – 3 бар
Прецизионный контроль всех параметров процесса сращивания
Быстрый нагрев (40 K/мин) и активное охлаждение (40 K/мин)
Размер пластин: до 200 мм

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Автоматическая платформа XBS200 предназначена для сращивания предварительно совмещенных пластин размером до 200 мм. Универсальность и модульная конструкция обеспечивают максимальную гибкость процесса при решении всех задач сращивания пластин. Принципиально новый регулируемый способ передачи пластин исключает проблемы, возникающие при работе с традиционными системами, и обеспечивает надежность результатов процесса и бесперебойность работы. Внедрение платформы XBS200 в крупносерийное производство МЭМС, LED и 3D-устройств позволит значительно снизить себестоимость процесса.

Основные модули

Модуль загрузки материалов MHU-Material Handling Unit

Платформа XBS200 позволяет как перемещать одиночные пластины, так сращивать предварительно совмещенные пластины. Она включает в себя станцию загрузочных/разгрузочных кассет для пластин со встроенным сканирующим устройством разметки и оптическое устройство предварительного совмещения с опциональными ID-считывателями. Дополнительная система камер позволяет контролировать и хранить информацию о процессе.

Модуль совмещения XBA-Bond Aligner

Модернизированный модуль совмещения XBA, разработанный при использовании запатентованной SUSS MicroTec ISA-технологии (взаимное выравнивание подложек), обеспечивает последовательное совмещение прозрачных или непрозрачных пластин с субмикронной точностью. Система постоянной калибровки является неотъемлемой составной частью модуля XBA и делает автоматическую калибровку и контроль совмещения простым и быстрым.

Камера сращивания XB200-Bond Chamber

Камера сращивания XB200 – это модуль на основе автономного бондера для пластин XB8. Благодаря широкому диапазону параметров камера подходит для проведения любого термокомпрессионного процесса сращивания. Воспроизводимость результатов процесса от пластины к пластине позволяет получить продукт стабильно высокого качества. Доступны версии с усилиями сращивания 60 кН и 100 кН и температурным диапазоном до 550°C.

Система поддерживает проведение всех типов сращивания:

Анодное сращивание (Anodic Bonding)

Термокомпрессионное сращивание (Thermo-compression Bonding)

Эвтектическое сращивание (Eutectic Bonding)

Пайка стеклокристаллическим припоем (Glass Frit Bonding)

Прямое сращивание (Fusion Bonding)

Адгезионное (клеевое) сращивание (Adhesive Bonding)

Временное сращивание (Temporary Bonding)