Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Расширение возможностей установки CORIAL 210IL: глубокое реактивно-ионное травления стекла
Новости партнёров 22/05/2017 9:41Компания CORIAL рада сообщить о возможности реализации процесса глубокого реактивно-ионного травления (DRIE) стекла на установке CORIAL 210IL нового поколения.
Новая технология глубокого реактивно-ионного травления от CORIAL
![DRIE-травление 4-х дюймовой пластины Borofloat (оптическое стекло) DRIE-травление 4-х дюймовой пластины Borofloat (оптическое стекло)](/upload/medialibrary/4ef/4efd41b0087327445a1b18f3f3407abd.jpg)
Уникальные характеристики этого материала (прозрачность, механическая прочность, биологическая совместимость и удельное электрическое сопротивление), а также его низкая стоимость по сравнению с кремнием являются весомыми преимуществами для применения его в данных областях.
В отличие от стандартно используемого кремния на пути широкого внедрения стекла в производство МЭМС существует ряд сложностей, в том числе связанных с использованием технологий сухого травления для формирования глубоких микроструктур.
![Установка CORIAL 210IL нового поколения Установка CORIAL 210IL нового поколения](/upload/medialibrary/9cc/9cc8884c355ff6e5674571006ae0f4fe.jpg)
Установка CORIAL 210IL нового поколения
Проведение глубокого реактивно-ионного травления твердых материалов на установке CORIAL 210IL нового поколения будет доступно не только новым заказчикам, но и существующим пользователям за счет модификации системы. Кроме стекла модернизированная установка позволит проводить глубокое травление кварца, карбида кремния, танталата лития, сапфира и других твердых материалов на основе ICP и DRIE -технологий.