---

Компания CORIAL рада сообщить о возможности реализации процесса глубокого реактивно-ионного травления (DRIE) стекла на установке CORIAL 210IL нового поколения.

Новая технология глубокого реактивно-ионного травления от CORIAL

Стекло – это очень перспективный с точки зрения возможностей применения материал для производства МЭМС-устройств, который обычно используется для изготовления оптических микропроцессорных систем, линз, волноводов или биочипов. 

Уникальные характеристики этого материала (прозрачность, механическая прочность, биологическая совместимость и удельное электрическое сопротивление), а также его низкая стоимость по сравнению с кремнием являются весомыми преимуществами для применения его в данных областях.

В отличие от стандартно используемого кремния на пути широкого внедрения стекла в производство МЭМС существует ряд сложностей, в том числе связанных с использованием технологий сухого травления для формирования глубоких микроструктур.

Компания CORIAL разработала подходящий для производителей МЭМС способ глубокого реактивно-ионного травления стекла, обладающий такими преимуществами как высокая скорость травления (от 0,5 мкм/мин до 1 мкм/мин), превосходный контроль профиля, обеспечение гладкости поверхности, непревзойденная селективность и анизотропный профиль для глубин травления свыше 100 мкм.

Установка CORIAL 210IL нового поколения

Проведение глубокого реактивно-ионного травления твердых материалов на установке CORIAL 210IL нового поколения будет доступно не только новым заказчикам, но и существующим пользователям за счет модификации системы. Кроме стекла модернизированная установка позволит проводить глубокое травление кварца, карбида кремния, танталата лития, сапфира и других твердых материалов на основе ICP и DRIE -технологий.