Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка инспекции пластин в ИК свете Idonus WBI

Швейцария
  • картинка

Установка инспекции пластин в ИК-свете WBI оснащена источником ИК света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.

Производитель: Idonus
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Контроль пластин до и после сращивания
  • Совмещение кремниевых пластин/чипов
  • Контроль качества
  • Инспекция отдельных устройств MEMS
  • Измерение скорости травления скрытых структур (например, КНИ пластин)

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Кремний является прозрачным для инфракрасного света. Источник инфракрасного света установки WBI освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий свет принимает приемник. Таким образом, становится возможным проконтролировать качество сращивания двух кремниевых пластин, чего нельзя сделать на обычном микроскопе.


Установка WBI оснащена источником инфракрасного света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.


Для пластин меньшего размера предусмотрены специальные адаптеры. 200 мм версия WBI оснащена моторизированным приводом держателя пластин.


Для работы системы необходим компьютер с USB портом и Windows 2000 или выше.

    Пластина загружается с передней стороны. Для маленьких   пластин может быть использован адаптер.

 

Пример ИК изображений: С левой стороны показаны две кремниевые пластины после сращивания (фотография CSEM SA). Общая толщина 1.0 мм. Не сращенные площади между двумя пластинами можно увидеть в областях с интерференцией. Изображение справа показывает качество сращивания пластин с уже сформированной на них структурой. Изображение показывает области подтравленных полостей. Также область интерференции показывает области плохого сращивания.

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх