Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Киевская, 7

Установка инспекции пластин в ИК свете Idonus WBI

Швейцария
  • картинка

Установка инспекции пластин в ИК-свете WBI оснащена источником ИК света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.

Производитель: Idonus
Страна-производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Контроль пластин до и после сращивания
  • Совмещение кремниевых пластин/чипов
  • Контроль качества
  • Инспекция отдельных устройств MEMS
  • Измерение скорости травления скрытых структур (например, КНИ пластин)

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Кремний является прозрачным для инфракрасного света. Источник инфракрасного света установки WBI освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий свет принимает приемник. Таким образом, становится возможным проконтролировать качество сращивания двух кремниевых пластин, чего нельзя сделать на обычном микроскопе.


Установка WBI оснащена источником инфракрасного света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.


Для пластин меньшего размера предусмотрены специальные адаптеры. 200 мм версия WBI оснащена моторизированным приводом держателя пластин.


Для работы системы необходим компьютер с USB портом и Windows 2000 или выше.

    Пластина загружается с передней стороны. Для маленьких   пластин может быть использован адаптер.

 

Пример ИК изображений: С левой стороны показаны две кремниевые пластины после сращивания (фотография CSEM SA). Общая толщина 1.0 мм. Не сращенные площади между двумя пластинами можно увидеть в областях с интерференцией. Изображение справа показывает качество сращивания пластин с уже сформированной на них структурой. Изображение показывает области подтравленных полостей. Также область интерференции показывает области плохого сращивания.



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования idonus wbi


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования idonus wbi
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх