ИК Микроскоп Idonus IR

ИК Микроскоп оснащен объективом с большой глубиной резкозти. 3х шаговый зум позволяет пользователю выбрать нужное поле зрения. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Разрешение лучше 3х микрон при использовании объектива 5х.
Дополнительно доступна подсветка передней стороны.

Производитель: Idonus

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

ИК подсветка с задней стороны
Подсветка передней стороны
xy-стол для 8'' пластин или меньше
Объективы с большой рабочей дистанцией
3-х шаговый зум
ИК чувствительная камера
Инспекция на компьютере

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Кремний является прозрачным для инфракрасного света. ИК источник микроскопа освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий свет принимает приемник. Таким образом, становится возможным увидеть структуру внутри кремниевой пластины, что нельзя сделать на обычном микроскопе.

Микроскоп оснащен объективом с большой глубиной резкозти. 3х шаговый зум позволяет пользователю выбрать нужное поле зрения. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Разрешение лучше 3х микрон при использовании объектива 5х.

Дополнительно доступна подсветка передней стороны. Это позволяет использовать микроскоп в обычном режиме для контроля лицевой стороны пластины.

ИК микроскоп оснащен XY столом, на котором можно разместить пластину до 8 дюймов. Стол оснащен моторизированным приводом , движения стола контролируются с помощью джойстика.

Микроскопы поставляются в различных конфигурациях: системы с моторизированным приводом и ручным. У систем с моторизированным приводом, движения стола контролируются с помощью джойстика. Для лабораторного использования предлагаются недорогие микроскопы с ручным приводом пластин

Применение: • Инспекция отделения элементов МЕМС • Измерение скорости травления скрытых структур (такие как кремний на изоляторе) • Инспекция качества бондинга • Совмещение с обратной стороны пластин/ чипов • Контроль качества	Преимущества: • Надежное изготовление наименьших анкеров для МЕМС с более высоким заполнением • Подсветка передней и задней стороны • Высокое разрешение (< 3 микрон с 5x объективом) • Небольшая занимаемая площадь • Лёгкий в эксплуатации

Вид сверху части микроструктуры изготовленных на КНИ пластине	Инфракрасное изображение той же области через 60 минут травления в парах плавиковой кислоты. Недотравленные скрытые структуры SiO2 становятся видимыми, что позволяет определить отделены или нет

Инспекция бондинга кремниевых пластин: пластина со структурой, нанесенной процессом РИТ с другой пластиной. Некачественный бондинг (пустоты, плохое совмещение) может быть увиден в ИК свете.

Графический интерфейс пользователя.

Графический интерфейс пользователя для Windows позволяет пользователю управлять микроскопом с ПК. Дает полный контроль над микроскопом и получение изображений.

Изображение с высоким разрешением целой поверхности пластины может быть получено автоматически из нескольких изображений участков пластин. Такие изображения могут быть сохранены на жестком диске.