Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

ИК Микроскоп Idonus IR

Швейцария
  • картинка
  • картинка
картинкакартинка

ИК Микроскоп оснащен объективом с большой глубиной резкозти. 3х шаговый зум позволяет пользователю выбрать нужное поле зрения. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Разрешение лучше 3х микрон при использовании объектива 5х. 
Дополнительно доступна подсветка передней стороны.

Производитель: Idonus
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • ИК подсветка с задней стороны
  • Подсветка передней стороны
  • xy-стол для 8'' пластин или меньше
  • Объективы с большой рабочей дистанцией
  • 3-х шаговый зум
  • ИК чувствительная камера
  • Инспекция на компьютере

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Кремний является прозрачным для инфракрасного света. ИК источник микроскопа освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий  свет принимает приемник.   Таким образом, становится возможным увидеть структуру внутри кремниевой пластины, что нельзя сделать на обычном микроскопе.


Микроскоп оснащен объективом с большой глубиной резкозти. 3х шаговый зум позволяет пользователю выбрать нужное поле зрения. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Разрешение лучше 3х микрон при использовании объектива 5х.


Дополнительно доступна подсветка передней стороны. Это позволяет использовать микроскоп в обычном режиме для контроля лицевой стороны пластины.  


ИК микроскоп оснащен XY столом, на котором можно разместить пластину до 8 дюймов.  Стол оснащен моторизированным приводом , движения стола контролируются с помощью джойстика.


Микроскопы поставляются в различных конфигурациях: системы с моторизированным приводом и ручным. У систем с моторизированным приводом, движения стола контролируются с помощью джойстика. Для лабораторного использования предлагаются недорогие микроскопы с ручным приводом пластин


 Применение:

• Инспекция отделения элементов МЕМС
• Измерение скорости травления скрытых       структур (такие как кремний на изоляторе)
• Инспекция качества бондинга 
• Совмещение с обратной стороны пластин/   чипов
• Контроль качества            

Преимущества:

• Надежное изготовление наименьших       анкеров для МЕМС с более высоким   заполнением 
• Подсветка передней и задней стороны 
• Высокое разрешение (< 3 микрон с 5x          объективом)
• Небольшая занимаемая площадь

• Лёгкий в эксплуатации 


 
Вид сверху части микроструктуры изготовленных на КНИ пластине  Инфракрасное изображение той же области  через 60 минут травления в парах  плавиковой  кислоты. Недотравленные  скрытые структуры  SiO2 становятся  видимыми, что позволяет  определить  отделены или нет

 
Инспекция бондинга кремниевых пластин: пластина со структурой, нанесенной процессом РИТ с другой пластиной. Некачественный бондинг (пустоты, плохое совмещение) может быть увиден в ИК свете.  

Графический интерфейс пользователя.



Графический интерфейс пользователя для Windows позволяет пользователю управлять микроскопом с ПК. Дает полный контроль над микроскопом и получение изображений.



Изображение с высоким разрешением целой поверхности пластины может быть получено автоматически из нескольких изображений участков пластин. Такие изображения могут быть сохранены на жестком диске.
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх