Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Настольная центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM150 (SM180)

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Небольшие лабораторные центрифуги. Выпускаются как в собственном корпусе, так и для монтажа в уже имеющийся столик
В результате обновления линейки оборудования Sawatec, взамен популярной SM180 с марта 2016 года поставляется SM150

Производитель: Sawatec
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Центрифуга оптимизирована для университетов, лабораторий и пилотных проектов
  • Позволяет обрабатывать подложки до 150 мм диаметром
  • Возможен как вакуумный зажим подложки, так и механический
  • Легкая замена столика без использования специальных приспособлений
  • Чаша сделана разборной, чтобы можно было легко ее очищать
  • Дисплей с полным контролем процесса
  • Возможно устанавливать до 24 пар установок скорость/время
  • Контроллер с возможностью запоминания до 50 рецептов
  • Крышка, закрываемая вручную, сделана из полиэтилена. Потоком воздуха можно управлять для изменения профиля нанесения резиста.
  • Камера чаши может быть изготовлена из анодированного алюминия (стандартно – фторопласт)

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Лабораторная центрифуга предназначена для нанесения резистов с помощью центрифугирования до 10'000 об/мин. Простая, но в то же время надежная модель лабораторной центрифуги для нанесения резиста идеальна для исследовательских работ и небольших производств.


Лабораторная центрифуга может поставляться в двух версиях: в собственном корпусе и в "разобранном" виде на несколько модулей  для установки в уже существующую у пользователя столешницу.


Лабораторная центрифуга для нанесения резистов в собственном корпусе Sawatec SM150


Центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM150 (SM180)


Лабораторная центрифуга для нанесения резистов модульная Sawatec SM150


Центрифуга для нанесения резистов Sawatec SM150 (SM180)


Возможности лабораторной центрифуги:


  • Лабораторная центрифуга оптимизирована для университетов, лабораторий и пилотных проектов
  • Вставляемый модуль для сушки позволяет обрабатывать подложки до 150 мм диаметром

  • Возможен как вакуумный зажим подложки, так и механический

  • Легкая замена столика без использования специальных приспособлений

  • Чаша сделана разборной, чтобы можно было легко ее очищать

  • Дисплей с полным контролем процесса

  • Возможно устанавливать до 10 пар установок скорость/время

  • Контроллер с возможностью запоминания до 10 рецептов

  • Крышка, закрываемая вручную, сделана из полиэтилена. Потоком воздуха можно управлять.

  • Чаша сделана из полиоксиметилена (POM), возможно производство и из другого материала по дополнительному запросу



Лабораторная центрифуга стандартно имеет 10'000 об/мин, укомплектована крышкой и чашей из полиоксиметилена (пластика). Дополнительно можно заказать опции:

  • Чаша из анодированного алюминия или других материалов

  • Полуавтоматическая система дозирования (стеклянный картридж 50 мл) с ручным кронштейном

  • Полуавтоматическая подающая система для резистов

  • Педаль старт/стоп (длина кабеля 1.8 м)

  • Ручная подача азота (N2) для продувки рабочей камеры

  • Клапан обратного потока

  • Покрытие всех внутренних покрытий тефлоном для легкой очистки

  • Вакуумные и механические держатели пластин и подложек, в том числе кусочков

  • Вакуумный насос для модуля SM-150

  • Вставки в чашу для легкого удаления отработанных резистов

  • Инструмент для центрирования круглых подложек 2"- 6"

chuckteller_2_bilder.png     nozzle.png
Виды подложкодержателей


Для получения стабильных результатов системы Sawatec используют специальные держатели из различных материалов. В зависимости от применения, используются цельный или составной. Для того, чтобы гарантировать, что обратная сторона подложки не загрязнится, необходимо выбрать оптимальный размер держателя, учитывая особенности обрабатываемой подложки. Замена держателей очень проста и не требует каких-либо инструментов.

  • Вакуумный держатель для кусочков

  • Держатель для пластин от 1 до 3-х дюймов (вакуумный)

  • Держатель для пластин от 4-х до 6 дюймов (вакуумный)

  • Держатель для пластин 100x100 мм (4”x4”) (вакуумный)

  • Держатель для пластин 125x125 мм (5”x5”) (вакуумный)

  • Держатели по индивидуальному дизайну

Лабораторная центрифуга SM 150 - надежная и недорогая - идеальный инструмент для НИОКР и небольших производств

Технические характеристики и требования для подключения лабораторной
центрифуги для нанесения резиста:

  • Скорость вращения 0-10’000 об/мин, точность вращения +/-1 на 6000 об/мин

  • Ускорение 80-500 rad/s2

  • Температура окружающего воздуха от 4 до 60°C

  • Размеры (ШхДхВ) 510 x 350 x 403 мм

  • Вес 29 кг

  • Электричество ~ 230 В / 50/60 Гц

  • Вакуум -0.5 бар, Ø 6/4 мм

  • Давление 5 бар, Ø 6/4 мм

  • Вытяжка воздуха (38 мм), 20-50 м3/ч

  • Слив Ø 12 мм

Технические характеристики

• Диапазон скоростей вращения: от 0 до 10'000об/мин +/-1 об/мин
• Ускорение: 0 – 8,000об/мин за 0.8 с. / 0 – 10,000 об/мин за 1 с.1)
• Торможение: 10,000 об/мин – 0 за 2.5 с. / 8,000 об/мин – 0 за 0.8 с.1)
• Время процесса до 2376 секунд
• Время дозирования 99 секунд / сегмент

1) В зависимости от размера подложки и типа подложкодержателя


Размеры и габариты


 Настольная SM-150-BT  Встраиваемая SM-150-BM
 • Компактный, эргономичный дизайн
 • Чаша системы изготовлена из фторопласта для высокой степени совместимости материалов
 • Защита от разбрызгивания резиста системой улавливания с воротником из фторопласта
 • Прозрачная крышка из стекла
 • 3,5 " цветной сенсорный экран
 • Прецизионный, высокодинамичный серводвигатель переменного тока
  • Электрополированный корпус
  из нержавеющей стали
  • Корпус: 350 х 510 х 403 мм (Д х Ш х В)
  • Вес: 29 кг
 • Монтажный модуль: 300 х 300 х 368mm (Д х Ш х В)
 • Монтажная панель: 320 х 166 х 50 мм (Д х Ш х В)
 • Вес: 20кг


Требуемые подключения


• 230В переменного тока, 50/60Гц, 10A
• Разъем для подключения педали
• Технический вакуум, трубка Ø6/4мм (-0.8 атм.)
• Сжатый воздух или N2, труба Ø6/4мм (3 атм.) (необходимо только вместе с системой дозирования)
• Дренажный разъем Ø12мм
• Версия BT – вентиляция разъем Ø38мм (20-50м3/ч)
• Версия BM – вентиляция разъем Ø25мм (20-50м3/ч)
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх