Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Полуавтоматическая система проявления и промывки SUSS AD12

Германия
  • картинка

Полуавтоматическая система для жидкостной обработки AD12 от компании SUSS MicroTec обеспечивает превосходные возможности промывки и проявления при работе с водно-щелочными материалами. Рабочая платформа обслуживает заготовки и полупроводниковые пластины размером до 300 мм, квадратные подложки размером до 230 мм x 230 мм и рамки с лентой размером до 300 мм.

Производитель: SUSS MicroTec
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Водно-щелочное проявление
  • Очистка пластин
  • Полупроводниковые пластины до 300 мм
  • Подложки до 230 мм x 230 мм
  • Пластины размером до 300 мм, установленные на ленту-носитель с фиксирующей рамкой
  • Веерное распыление
  • Налив растворов лужей
  • Высоконапорные сопла
  • Бинарные сопла
  • Ультрозвуковой преобразователь

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Гибкое решение для водно-щелочного проявления и промывки

Полуавтоматическая система для жидкостной обработки AD12 от компании SUSS MicroTec обеспечивает превосходные возможности промывки и проявления при работе с водно-щелочными материалами. Рабочая платформа обслуживает заготовки и полупроводниковые пластины размером до 300 мм, квадратные подложки размером до 230 мм x 230 мм и рамки с лентой размером до 300 мм. Возможность работы с различными материалами и процессами обеспечивает гибкость, необходимую для переключения между применениями и делает устройство лучшим выбором для проведения испытаний и мелкосерийных производств.

Непревзойденная гибкость


AD12 демонстрирует свою универсальность благодаря способности работать с различными типами подложек с помощью оптимизированных держателей. Система AD12 позволяет обрабатывать даже хрупкие подложки (например, InP, GaAs). Благодаря специальным инструментам и широкому выбору легко настраиваемых технологических параметров система AD12 подходит для различных процессов с применением водно-щелочных растворов. Программируемые параметры, такие как шаг процесса по времени, скорость вращения, ускорение и замедление, положение руки - распылителя и его движение передвижение дают возможность оптимизировать рабочий процесс, что приводит к стабильным и воспроизводимым результатам. Благодаря совершенным технологиям нанесения SUSS MicroTec платформа AD12 эффективно справляется с процессами проявления и промывки.

Совершенные технологии нанесения


AD 12 имеет широкий ряд технологий нанесения для различных требований процессов. Среди доступных процессов:

от простого налива растворов лужей или спреевого проявления до взрывной литографии, для которой, наряду с наливом для вымачивания и финальной промывки, требуется высоконапорное распыление для отслаивания резиста и металла. Все указанные технологии могут быть сконфигурированы на распыляющей руке системы AD12.

Система водно-щелочных материалов


Платформа AD12 специально создана для работы с водно-щелочными материалами. Все детали, вступающие в контакт с химическими веществами, изготовлены из устойчивых материалов. Слив можно подключить к канализации фабрики или специальным канистрам. Материалы безопасно хранятся в специальных резервуарах, оснащенных вытяжкой и датчиком протечек. Системы контроля расхода и регуляторы давления обеспечивают контроль материалов. В качестве опции возможен контроль температуры раствора для получения надежных и оптимальных результатов процесса. Для уменьшения общего расхода химии возможна установка системы рециркуляции.

SUSS AD12.jpg

Простая и безопасная эксплуатация


Система AD12 проста в эксплуатации и обслуживании. Информацию о технологических параметрах и используемых химикатах можно вывести на экран одним нажатием кнопки. программируемые рецепты значительно ускоряют рабочий процесс и повышают повторяемость результата. Все детали находятся в легкой доступности для работы и обслуживания устройства. Более того, система создана с особым упором на безопасность эксплуатации. Герметичная рабочая камера с автоматической стеклянной дверцей создает закрытую производственную среду и облегчает управление процессом. Датчики блокировки гарантируют безопасную работу с устройством.
Базовая конфигурация системы
Управление Промышленный ПК (Windows 7) с сенсорным экраном
Камера Полипропилен
Распыляющая рука положение и скорость регулируются
Количество распыляющих линий на руке макс. 6 (динамическое распыление)
Кол-во распыляющих сопел макс. 3 (статическое распыление) на стенке камеры
Слив
подключение к зданию или сливным резервуарам
Вытяжка
Рабочая камера
Шкаф с материалами
Электрический шкаф

Программное обеспечение

Пользовательский интерфейс SUSS MMC
Кол-во рецептов > 10 000
Кол-во шагов процесса макс. 40
Программируемые параметры процесса
  • Время шага
  • Скорость вращения
  • Ускорение/ замедление
  • Активное сопло
  • Положение и скорость руки
  • Функция закольцованного повтора

Система безопасности

Дверца
Защитное стекло с датчиком блокировки
Модуль Датчик протечки
Вытяжка Датчик перепада давления

Требования и размеры

Коммуникации Азот
Сжатый воздух
Вакуум
Питание
Размеры Ширина 1200 мм
Глубина 795 мм
Высота 1278 мм
Подложки
Размер полупроводниковых пластин
от 2" до 300 мм
Подложки
2" x 2" до 230 мм х 230 мм
Рамки с лентой
для пластин до 300 мм
Заготовки
под заказчика
Технологии распыления/сопла
Налив лужей
Веерное распыление
Бинарные сопла
Программируемые высоконапорные
Мегазвуковой преобразователь
Промывка задней стороны
Дополнительные функции
Различные держатели
Температурный контроль материала
Переподключение слива
Сливные канистры и поддон

SUSS AD12 (Габариты)        SUSS AD12 (Габариты)
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх