Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка спреевого нанесения резиста SUSS AS 8/12

Германия
  • картинка

Уникальная система нанесения спреем

Производитель: SUSS MicroTec
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Покрытие по сложной топографии
  • Лучшее покрытие внешних углов без скапливания резиста во впадинах
  • Оптимальная репродуктивность и чистота процесса
  • Покрытие стенок с уклоном до 90 градусов без стекания резиста
  • Непревзойденная равномерность покрытия
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Покрытие сложной топографии - ключ к современным технологиям



Процессы изготовления 3D-микроструктур обычно можно найти в таких областях, как микроэлектромеханических системах (MEMS), оптических микроэлектромеханических системах (MOEMS), сложно-структурных полупроводниках, а также корпусировании. Они также оказывают значительное влияние на остальные области полупроводниковой индустрии. Технологии изготовления датчиков давления, датчиков веса, микрозеркал имеют 3D-структуры, имея шаги топографии от нескольких микрон до 600 и более.

  Успешное покрытие пленкой резиста подложек со сложной топографией
   Бампы для склейки пластин (бампинга)
   Пьезо-мотор для MEMS
   Линзы для MOEMS


Для покрытия таких топографически сложных структур обычное нанесение с помощью центрифуги демонстрирует неизбежные проблемы, возникающие из-за гравитации и потоков резиста, делающие невозможным равномерное покрытие крутых уклонов и острых краев топографии.


Компания SUSS MicroTec разработала уникальную систему нанесения спреем AltaSpray, которая успешно преодолевает эти ограничения. AltaSpray может наносить резисты высокого разрешения на различные 3D-структуры, обеспечивая максимально равномерное покрытия таких сложных участков, как 90-градусные углы, протравленные КОН впадины, V-образные углы или линзы.


Результаты, достигнутые с помощью системы нанесения резистов спреем AltaSpray:


Тестовая структура с большой разнородностью ориентации и вариацией топографии до 200 микрон

Сенсор MEMS с вариацией топографии в 200 микрон 
   
Сенсор MEMS с негативным срезом на КОН-протравленной кремниевой пластине Однородное покрытие на КОН-протравленной стенке с вариацией топографии в 200 микрон
   

Чтобы достичь таких результатов, как показаны на изображениях, потребовалось внедрение нескольких новых технологий:

  • Во-первых, использование оптимизированного распылительного сопла позволило полностью контролировать распыление на всей площади пластины, независимо от ее размера

  • Во-вторых, покрытие пластины с движением подающей руки по осям x и y оптимизирует равномерность распыления. Такой способ передвижения руки увеличивает гибкость процесса и делает возможной легкую адаптацию на различные площади подложек и их формы

  • В-третьих, точная установка делает процесс покрытия повторяемым с желаемой толщиной слоя

  • В-четвертых, оптимизированная последовательность процесса, включая нагрев платины, позволяет добиться лучшей равномерности

  • Модуль AltaSpray может монтироваться как в отдельном небольшом корпусе Delta, так и входить в автоматическую кластерную установку Gamma


Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх