Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Автоматическая система для работы с резистами Suss Gamma

Германия
  • картинка

Система SUSS Gamma – полностью автоматическая, что обеспечивает гибкость, чистоту и надежность процессов нанесения фоторезиста, бензоциклобутена (BCB) или полиимидов. Система объединяет в себе высокую производительность с низкой стоимостью эксплуатации, что позволяет ее применять не только в MEMS и Advanced Packaging, но и в оптоэлектронике

Производитель: SUSS MicroTec
Страна-производитель: Германия
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Компактная кластерная архитектура с роботом, расположенным по центру и модулями процессов, расположенными вокруг него.
  • До трех наносящих/проявляющих модулей
  • До трех температурных стеков, в каждом из которых до шести нагревающихся/охлаждающихся пластины
  • Модуль AltaSpray для нанесения по сложной топографии
  • Кассета Auto-Sizing с зеромеханическим изменением крепления между размерами подложек
  • Круглые подложки от 2 дюймов до 200 мм и квадратные от 2 до 6 дюймов
  • Параллельная потоковая функциональность даже с разными размерами подложек для оптимального использования мощностей системы
  • Технология GYRSET – вращающийся купол для равномерного нанесения по высокой топографии
  • Покрытие квадратных подложек без сбора резиста по углам
  • Очистка края
  • Нанесение резиста струйным способом и спреем для высокой равномерности распределения
  • Полностью укомплектована интерфейсом SECSII/GEM

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта


Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования suss gamma cluster system


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования suss gamma cluster system
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх