Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Автоматическая система для работы с резистами Suss Gamma

Германия
  • картинка

Система SUSS Gamma – полностью автоматическая, что обеспечивает гибкость, чистоту и надежность процессов нанесения фоторезиста, бензоциклобутена (BCB) или полиимидов. Система объединяет в себе высокую производительность с низкой стоимостью эксплуатации, что позволяет ее применять не только в MEMS и Advanced Packaging, но и в оптоэлектронике

Производитель: SUSS MicroTec
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Компактная кластерная архитектура с роботом, расположенным по центру и модулями процессов, расположенными вокруг него.
  • До трех наносящих/проявляющих модулей
  • До трех температурных стеков, в каждом из которых до шести нагревающихся/охлаждающихся пластины
  • Модуль AltaSpray для нанесения по сложной топографии
  • Кассета Auto-Sizing с зеромеханическим изменением крепления между размерами подложек
  • Круглые подложки от 2 дюймов до 200 мм и квадратные от 2 до 6 дюймов
  • Параллельная потоковая функциональность даже с разными размерами подложек для оптимального использования мощностей системы
  • Технология GYRSET – вращающийся купол для равномерного нанесения по высокой топографии
  • Покрытие квадратных подложек без сбора резиста по углам
  • Очистка края
  • Нанесение резиста струйным способом и спреем для высокой равномерности распределения
  • Полностью укомплектована интерфейсом SECSII/GEM

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх