Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Киевская, 7

Система для жидкостной химической обработки фотошаблонов SUSS HMX Square

Ручная система для жидкостной химической обработки фотошаблонов, обладающая возможностями для мягкого удаления малейших дефектов, чистки фазосвдигающих шаблонов, при минимальной концентрации остаточных ионов для обеспечения нужд полупроводниковой промышленности.

Производитель: SUSS MicroTec
Страна-производитель: Германия
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Технология обработки фотошаблонов с топологией от 250 нм до 3 мкм
  • Используется как при производстве заготовок фотошаблонов, фотошаблонов с паттерном
  • Различные хим. процессы обработки фотошаблонов: очистка, проявление, травление, удаление пеликлов
  • Веерные распылительные форсунки и форсунки подачи раствора струей
  • Мегазвуковая очистка для удаления частиц субмикронного размера
  • Модуль ионизации для NH4OH / SC1 / SC2
  • Модуль подготовки и подачи рекативов
  • Новейшие решения для соблюдения правил техники безопасности и охраны окружающей среды и стандартам CE

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Основные данные:

  • безрамный белый корпус из полипропилена
  • материал, соответствующий стандарту FM
  • пневматические и электронные средства управления на корпусе машины
  • габариты: ширина 960 мм (1200) х глубина 1060 мм
  • крышки из оргстекла для расходомеров и технологических модулей
  • топология 3 мкм - 250 нм
  • подтвержденная производительность серии HMx
  • современная электроника и ПО
  • новейшие расширения для соблюдения правил техники безопасности и охраны окружающей среды
  • усовершенствованная чистка 

Фотошаблоны
Квадратные Круглые Особые
65 х 65 мм
3 х 3", 3 х 5"
4 x 4", 5 x 5"
6 x 6", 7 x 7"
7,25", 9 x 9"
14 x 14"
100 мм
125 мм
150 мм
200 мм
300 мм

Кусочки

Рабочая камера:


SUSS HMX.jpg
  SUSS HMX.jpg

  • изготовлена из полипропилена с открытой верхней частью для равномерного ламинарного потока воздуха и потока чистого воздуха
  • диаметр камеры 380 мм
  • симметричная кольцевая вытяжка с встроенной сепарацией жидкости
  • индикация вытяжки с помощью дифференциального манометра
  • система распыления кислоты, система распыления со струйной форсункой для компактной струи и системой чистки 1 МГц Мегазвук для фотошаблонов и подложек
  • до 4 систем распыления с веерными форсунками для процессов проявления и/или травления 
СИСТЕМА ФИНАЛЬНОЙ ПРОМЫВКИ: СИСТЕМА РАСПЫЛЕНИЯ MEGASONIC:
SUSS HMX.jpg SUSS HMX.jpg
Система финальной промывки деионизированной водой и веерные форсунки для процессов травления/проявления.
  • использование деионизрованной воды, ионизированной CO2
  • возможность использования с материалами для травления и проявления (TMAH)
  • одна струйная форсунка из ПВДФ со скоростью потока 750 мл/мин для промывки передней стороны
  • две струйные насадки для промывки обратной стороны
  • минимальный промывочный поток с контролем посредством электронного расходомера
  • регулирование расхода через шариковые расходомеры и/или игольчатые клапаны фильтрация материала: 0,1 мкм
  Рекомендуется для удаления частиц субмикронного размера.

  • распыление через форсунку из кварца
  • генерация кавитационной области преобразователем установленным над кварцевым форсунком
  • мегазвуковая частота 1 МГц
  • аналоговое управление мощностью системы Megasonic через ГИП

РАБОТА С ФОТОШАБЛОНАМИ РАЗНЫХ РАЗМЕРОВ:


SUSS HMX.png
  SUSS HMX.png
  SUSS HMX.png

Различные держатели из ПП/ПВДФ для фотошаблонов и подложек пластин

  • используется для фотошаблонов одного или двух разных размеров
  • конструкция со спицами позволяет проводить промывку обратной стороны
  • двойные держатели фотошаблонов 4 дюйма/5 дюймов, 5 дюймов /6 дюймов и 7 дюймов /9 дюймов
  • возможна работа с фотошаблонами толщиной 0,09 дюйма, 0,12 дюймов, 0,25 дюймов
  • держатель под фотошаблон 2 дюйма, 4 дюйма, 8 дюймов и 300 мм со стандартной толщиной

БЛОК ИОНИЗАЦИИ NH40H / SC1 / SC2:


SUSS HMX.jpgРегулируемый впрыск жидкого гидрата аммиака (NH4OH) в деионизированную воду, чтобы избежать электростатического осаждения во время распыления и улучшить процесс чистки.

  • управляемая инжекция ионов в жидкость (NH4OH и H2O2)
  • блок генерации SC1 путем подачи H2O2 после предварительного смешивания NH4OH и деионизированной воды
  • блок генерации SC2 путем подачи H2O2 после предварительного смешивания HCl и деионизированной воды
  • электропроводность регулируется NH4OH:
    150 - 400 мкС, стабильность ± 10%, SC1: 600 - 1400 мкС,
    стабильность ± 10%
  • регулируемые пределы тревоги
  • фильтрация жидкости 0,1 мкм

БЛОК ИОНИЗАЦИИ CO2:


SUSS HMX.jpgЧтобы избежать электростатического повреждения во время финальной промывки

  • регулируемая подача CO2
  • электропроводность регулируется 5 – 10 мкС, стабильность ± 20%
  • регулируемые пределы тревоги
  • фильтрация газа CO2 0,05 мкм

ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЙ ШКАФ С РЕЗЕРВУАРАМИ:


HXMSquare.pngИспользуется для хранения химического травителя для распыления через систему спреевых форсунок

  • распыление из рабочего резервуара высокого давления, материал и размер необходимо указать при заказе
  • автоматическая герметизация до 3,0 бар
  • аппаратная блокировка герметизации и распыления
  • игольчатые клапаны из ПТФЭ для точной настройки потока материалов
  • клапаны из ПФА с пневматическим контролем
  • фильтрация материала 0,1 мкм






УПРАВЛЯЮЩЕЕ ПО

SUSS HMX.jpg
 
SUSS HMX.jpg
  • платформа для работы в реальном времени на базе Windows XP для удобства эксплуатации
  • структура совместимая с SECS/GEM 200 мм
  • контроль функционирования системы с помощью отдельных программных модулей
  • постоянный мониторинг соответствующих параметров процесса
  • программируемый сбор сведений и автоматизированная регистрация событий
  • связь между модулями с помощью стандартных протоколов сообщений
  • интерфейс пользователя со структурой в виде прозрачных меню с уровнями доступа, защищенными паролями


  • дизайн в соответствии со стандартами Semi S1-0701E, S2-0706D, S8-0308, S13-0305 и стандартами CE
  • отслеживание утечки материала и выхлопных газов с аппаратной блокировкой распыления
  • аппаратная блокировка всех состояний датчика, связанных с безопасностью: например, протечка, вытяжка, защитные
  • ограждения, уровень жидкости в водяной бане температура нагревателя материала и т.д.
  • аппаратная блокировка для запрета распыления несовместимых материалов по спецификации заказчика (указывается покупателем при заказе)
  • системы распыления с двойным кожухом
  • эргономичный дизайн блоков для хранения химических реагентов

БАЗОВАЯ СИСТЕМА HMX SQUARE 9’’
Конфигурация Чистка Проявление Травление
Рама/корпус системы
button_ok_7534.png
Шкаф с резервуарами
Рабочая камера
  • Промывка обратной стороны (2/1 струйные форсунки)
  • Промывка верхней стороны веерной форсункой (2х веерные спреевые форсунки)
  • Промывка камеры (3х веерные спреевые форсунки)
Подача и подготовка материала
  • Блок ионизации CO2-DI
  • Ручное заполнение резервуара
  • Основная фильтрация ДИ-воды 0,1 мкм
  • Водяной пистолет для ДИ-воды
  • Подача и контроль воздуха, азота и вакуума
Подача питания (шкаф аварийного отключения)
Контроль устройства
  • ПО + ГИП (Windows XP) АО (ПК)
Характеристики процесса
Система распыления SPM
  • 1 многоотверстная форсунка для налива
  • 1 нагреватель кислоты (H2SO4)
  • 2 кислотных насоса
button_ok_7534.png
   
Система струйного распыления
1 форсунка с компактной струей
1 высоконапорный насос
button_ok_7534.png
   
Щеточный блок
icons8-circled-notch-50.png
   
Система Мегазвук 1 МГц
icons8-circled-notch-50.png
   
Веерные/струйные спреевые форсунки (макс. доп. 2x2 форсунки)
icons8-circled-notch-50.png
icons8-circled-notch-50.png  icons8-circled-notch-50.png



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования suss hmx square


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования suss hmx square
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх