Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система для жидкостной химической обработки фотошаблонов SUSS HMX Square

Германия
  • картинка
  • картинка
картинкакартинка

Ручная система для жидкостной химической обработки фотошаблонов, обладающая возможностями для мягкого удаления малейших дефектов, чистки фазосвдигающих шаблонов, при минимальной концентрации остаточных ионов для обеспечения нужд полупроводниковой промышленности.

Производитель: SUSS MicroTec
Страна производитель: Германия
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Технология обработки фотошаблонов с топологией от 250 нм до 3 мкм
  • Используется как при производстве заготовок фотошаблонов, фотошаблонов с паттерном
  • Различные хим. процессы обработки фотошаблонов: очистка, проявление, травление, удаление пеликлов
  • Веерные распылительные форсунки и форсунки подачи раствора струей
  • Мегазвуковая очистка для удаления частиц субмикронного размера
  • Модуль ионизации для NH4OH / SC1 / SC2
  • Модуль подготовки и подачи рекативов
  • Новейшие решения для соблюдения правил техники безопасности и охраны окружающей среды и стандартам CE

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Основные данные:

  • безрамный белый корпус из полипропилена
  • материал, соответствующий стандарту FM
  • пневматические и электронные средства управления на корпусе машины
  • габариты: ширина 960 мм (1200) х глубина 1060 мм
  • крышки из оргстекла для расходомеров и технологических модулей
  • топология 3 мкм - 250 нм
  • подтвержденная производительность серии HMx
  • современная электроника и ПО
  • новейшие расширения для соблюдения правил техники безопасности и охраны окружающей среды
  • усовершенствованная чистка 

Фотошаблоны
Квадратные Круглые Особые
65 х 65 мм
3 х 3", 3 х 5"
4 x 4", 5 x 5"
6 x 6", 7 x 7"
7,25", 9 x 9"
14 x 14"
100 мм
125 мм
150 мм
200 мм
300 мм

Кусочки

Рабочая камера:


SUSS HMX.jpg
  SUSS HMX.jpg

  • изготовлена из полипропилена с открытой верхней частью для равномерного ламинарного потока воздуха и потока чистого воздуха
  • диаметр камеры 380 мм
  • симметричная кольцевая вытяжка с встроенной сепарацией жидкости
  • индикация вытяжки с помощью дифференциального манометра
  • система распыления кислоты, система распыления со струйной форсункой для компактной струи и системой чистки 1 МГц Мегазвук для фотошаблонов и подложек
  • до 4 систем распыления с веерными форсунками для процессов проявления и/или травления 
СИСТЕМА ФИНАЛЬНОЙ ПРОМЫВКИ: СИСТЕМА РАСПЫЛЕНИЯ MEGASONIC:
SUSS HMX.jpg SUSS HMX.jpg
Система финальной промывки деионизированной водой и веерные форсунки для процессов травления/проявления.
  • использование деионизрованной воды, ионизированной CO2
  • возможность использования с материалами для травления и проявления (TMAH)
  • одна струйная форсунка из ПВДФ со скоростью потока 750 мл/мин для промывки передней стороны
  • две струйные насадки для промывки обратной стороны
  • минимальный промывочный поток с контролем посредством электронного расходомера
  • регулирование расхода через шариковые расходомеры и/или игольчатые клапаны фильтрация материала: 0,1 мкм
  Рекомендуется для удаления частиц субмикронного размера.

  • распыление через форсунку из кварца
  • генерация кавитационной области преобразователем установленным над кварцевым форсунком
  • мегазвуковая частота 1 МГц
  • аналоговое управление мощностью системы Megasonic через ГИП

РАБОТА С ФОТОШАБЛОНАМИ РАЗНЫХ РАЗМЕРОВ:


SUSS HMX.png
  SUSS HMX.png
  SUSS HMX.png

Различные держатели из ПП/ПВДФ для фотошаблонов и подложек пластин

  • используется для фотошаблонов одного или двух разных размеров
  • конструкция со спицами позволяет проводить промывку обратной стороны
  • двойные держатели фотошаблонов 4 дюйма/5 дюймов, 5 дюймов /6 дюймов и 7 дюймов /9 дюймов
  • возможна работа с фотошаблонами толщиной 0,09 дюйма, 0,12 дюймов, 0,25 дюймов
  • держатель под фотошаблон 2 дюйма, 4 дюйма, 8 дюймов и 300 мм со стандартной толщиной

БЛОК ИОНИЗАЦИИ NH40H / SC1 / SC2:


SUSS HMX.jpgРегулируемый впрыск жидкого гидрата аммиака (NH4OH) в деионизированную воду, чтобы избежать электростатического осаждения во время распыления и улучшить процесс чистки.

  • управляемая инжекция ионов в жидкость (NH4OH и H2O2)
  • блок генерации SC1 путем подачи H2O2 после предварительного смешивания NH4OH и деионизированной воды
  • блок генерации SC2 путем подачи H2O2 после предварительного смешивания HCl и деионизированной воды
  • электропроводность регулируется NH4OH:
    150 - 400 мкС, стабильность ± 10%, SC1: 600 - 1400 мкС,
    стабильность ± 10%
  • регулируемые пределы тревоги
  • фильтрация жидкости 0,1 мкм

БЛОК ИОНИЗАЦИИ CO2:


SUSS HMX.jpgЧтобы избежать электростатического повреждения во время финальной промывки

  • регулируемая подача CO2
  • электропроводность регулируется 5 – 10 мкС, стабильность ± 20%
  • регулируемые пределы тревоги
  • фильтрация газа CO2 0,05 мкм

ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЙ ШКАФ С РЕЗЕРВУАРАМИ:


HXMSquare.pngИспользуется для хранения химического травителя для распыления через систему спреевых форсунок

  • распыление из рабочего резервуара высокого давления, материал и размер необходимо указать при заказе
  • автоматическая герметизация до 3,0 бар
  • аппаратная блокировка герметизации и распыления
  • игольчатые клапаны из ПТФЭ для точной настройки потока материалов
  • клапаны из ПФА с пневматическим контролем
  • фильтрация материала 0,1 мкм






УПРАВЛЯЮЩЕЕ ПО

SUSS HMX.jpg
 
SUSS HMX.jpg
  • платформа для работы в реальном времени на базе Windows XP для удобства эксплуатации
  • структура совместимая с SECS/GEM 200 мм
  • контроль функционирования системы с помощью отдельных программных модулей
  • постоянный мониторинг соответствующих параметров процесса
  • программируемый сбор сведений и автоматизированная регистрация событий
  • связь между модулями с помощью стандартных протоколов сообщений
  • интерфейс пользователя со структурой в виде прозрачных меню с уровнями доступа, защищенными паролями


  • дизайн в соответствии со стандартами Semi S1-0701E, S2-0706D, S8-0308, S13-0305 и стандартами CE
  • отслеживание утечки материала и выхлопных газов с аппаратной блокировкой распыления
  • аппаратная блокировка всех состояний датчика, связанных с безопасностью: например, протечка, вытяжка, защитные
  • ограждения, уровень жидкости в водяной бане температура нагревателя материала и т.д.
  • аппаратная блокировка для запрета распыления несовместимых материалов по спецификации заказчика (указывается покупателем при заказе)
  • системы распыления с двойным кожухом
  • эргономичный дизайн блоков для хранения химических реагентов

БАЗОВАЯ СИСТЕМА HMX SQUARE 9’’
Конфигурация Чистка Проявление Травление
Рама/корпус системы
button_ok_7534.png
Шкаф с резервуарами
Рабочая камера
  • Промывка обратной стороны (2/1 струйные форсунки)
  • Промывка верхней стороны веерной форсункой (2х веерные спреевые форсунки)
  • Промывка камеры (3х веерные спреевые форсунки)
Подача и подготовка материала
  • Блок ионизации CO2-DI
  • Ручное заполнение резервуара
  • Основная фильтрация ДИ-воды 0,1 мкм
  • Водяной пистолет для ДИ-воды
  • Подача и контроль воздуха, азота и вакуума
Подача питания (шкаф аварийного отключения)
Контроль устройства
  • ПО + ГИП (Windows XP) АО (ПК)
Характеристики процесса
Система распыления SPM
  • 1 многоотверстная форсунка для налива
  • 1 нагреватель кислоты (H2SO4)
  • 2 кислотных насоса
button_ok_7534.png
   
Система струйного распыления
1 форсунка с компактной струей
1 высоконапорный насос
button_ok_7534.png
   
Щеточный блок
icons8-circled-notch-50.png
   
Система Мегазвук 1 МГц
icons8-circled-notch-50.png
   
Веерные/струйные спреевые форсунки (макс. доп. 2x2 форсунки)
icons8-circled-notch-50.png
icons8-circled-notch-50.png  icons8-circled-notch-50.png



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования suss hmx square


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования suss hmx square
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх