Trymax NEO 2400

Платформа NEO 2400 является самым современным пополнением в линейке систем плазменной обработки, озоления и зачистки пластин от компанииTrymax Semiconductor Equipment. Система имеет компактное основание, обладает необходимой гибкостью и прекрасно адаптируется к постоянно изменяющимся требованиям производства. NEO 2400 комбинируется с любым из существующих технологических модулей Trymax NEO для обработки подложек диаметром до 200 мм.

Производитель: Trymax

Страна-производитель: Нидерланды

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Размер подложек до 200 мм
3 встроенных порта SMIF или 4 открытые кассетные станции
Четырехосевое подающее устройство с двумя манипуляторами
Опционная станция охлаждения и устройство для совмещения меток
2 или 4 рабочих камеры
4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
Высокая равномерность и воспроизводимость
Механическая производительность > 300 п/п пластин в час
Компактное основание
Низкие эксплуатационные расходы
Система связи с цифровым управлением (Devicenet, Ethernet)
Промышленный ПК на базе Windows

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Видеопрезентация

Применение

Удаление резиста с большой площади

Удаление непроявленного резиста

Удаление полимера

Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации

Травление нитрида кремния

МЭМС

Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)

Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet

Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами

Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet

Цифровые регуляторы массового расхода Horiba

Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet

Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet

Управление блокировками

Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности

Функции каждой из блокировок предустановлены

Технологический СВЧ-модуль

Применение:

Снятие фоторезиста (высокая темп.)

Удаление непроявленного резиста (низкая темп.)

HDI

Комплектация:

Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)

Вакуумная камера из электрополированного алюминия

Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой

Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4

Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)

СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц

Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)

Регулятор массового расхода с системой вентиляции

Система регулировки давления VAT 615

Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)