Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Киевская, 7

Trymax NEO 3000

Платформа NEO3000 является одной из последних новинок в линейке систем полировкии травления от компании Trymax Semiconductor Equipment. Система готова к использованию для серийного производства и может быть адаптирована под любую скорость производства и любой бюджет. NEO 3000 комбинируется с  любым из существующих технологических модулей Trymax NEO для обработки подложек диаметром до 300 мм. Компактный размер и модульный дизайн позволяют гибко конфигурировать систему в зависимости от ваших потребностей.

Производитель: Trymax
Страна-производитель: Нидерланды

Основные возможности:

  • Размер подложек до 300 мм
  • 2 или 3 загрузчика SMIF
  • Пятиосевое подающее устройство с двумя манипуляторами
  • 4 технологических модуля: СВЧ (2,45 ГГц), ВЧ-смещение (13,56 Мгц), Двойной источник (СВЧ, ВЧ-смещение), DCP (ВЧ-смещение, плазма постоянного тока)
  • Высокая равномерность и воспроизводимость
  • Механическая производительность > 220 пластин в час
  • Компактное основание
  • Низкие эксплуатационные расходы
  • Система связи с цифровым управлением (Devicenet-Ethernet)
  • Промышленный ПК на базе Windows

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Применение

  •  Удаление резиста с большой площади
  •  Удаление непроявленного резиста
  •  Удаление полимера
  •  Удаление резиста после высокодозной ионной имплантации
  •  Травление нитрида кремния
  •  МЭМС
  •  Корпусирование и тестирование (PR, PI, BCB, PBO)         
  

Управление вводом/выводом с помощью Devicenet и Ethernet

  •  Модули FESTO CPX devicenet сопряжены со всеми цифровыми и аналоговыми вводами и выводами
  •  Управление пневматическими компонентами через модули FESTO CPX devicenet
  •  Цифровые регуляторы массового расхода Horiba
  •  Современный ВЧ-генератор энергии с управлением через Ethernet
  •  Загрузочные порты Brooks Vision с управлением через Ethernet

Управление блокировками

  •  Управление блокировками происходит через программируемый центральный контроллер безопасности
  •  Функции каждой из блокировок предустановлены
 Trymax_controle system_04.png  Trymax_controle system_05.png  Trymax_controle system_06.png  Trymax_controle system_07.png


Технологический СВЧ-модуль

 Scheme_01.png

Применение:
  •  Снятие фоторезиста (высокая темп.)
  •  Удаление непроявленного резиста (низкая темп.)
  •  HDI
 Scheme_02.png


Комплектация:
  •  Алюминиевый держатель с литым контуром нагрева и охлаждения (диапазон: 20–250°C ± 2°C)
  •  Вакуумная камера из электрополированного алюминия
  •  Направляющая с 3 подъемными штифтами и простой регулировкой
  •  Двойные кварцевые перегородки для работы с материалами, не содержащими CF4
  •  Перегородки из алюминия/керамики для процессов с CF4 (> 5% общего объема)
  •  СВЧ-источник мощностью 2 кВт или 3 кВт и частотой 2.45 ГГц
  •  Регуляторы массового расхода Horiba Device net (макс. 5 на газовую/рабочую камеру)
  •  Регулятор массового расхода с системой вентиляции
  •  Система регулировки давления VAT 615
  •  Устройство для определения конечной точки длины волны с прямой связью (Verity)



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования trymax neo 3000


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования trymax neo 3000
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх