Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

IGS GAS CABINETS/ EQUIPMENT

Великобритания
  • картинка

Системы подачи газов, используемые в полупроводниковой промышленности компании IGS (Europe) Ltd

IGS является одной из ведущих компаний специализирующихся на системах подачи и контроля газов, в Великобритании.Десятилетиями эта компания развивала навыки, знания и опыт чтобы стать ведущим экспертом в этой области. Компания работает рука об руку с клиентами, и предлагает наиболее экономически эффективные решениям для реализации проекта


Производитель: IGS
Страна производитель: Великобритания

Основные возможности:

  • различные конфигурации, как шкафное исполнение так и отдельные панели
  • управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые системы
  • сборка в условиях чистой комнанты класса 1000
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Газовые шкафы.


Исполнения: одно, двух и трех баллонные.

Управление в ручном режиме, полуавтоматическом и полностью автоматические газовые шкафы.


Описание шкафа


12 мм сталь холодной проката, с белым (или по заказу) порошковым покрытием, используемые материалы устойчивы к коррозии 
Самозакрывающаяся дверца и окно
Окно с армированным стеклом
Вентиляционные решетки в передних дверях
Фиксатор баллонов устойчив к коррозии


Комплектация


Панель управления
Аварийное отключение системы 
Вентиляционный датчик
Водораспыляющая головка пожаротушения
Фильтр 0,003 микрон.
Для продува линий встроен эжекторный насос с трубкой Вентури


Опционально


Полка регулирующая высоту баллона, можно использовать разные по высоте баллоны
Порт для подключения течеискателя
Встроенный анализатор утечки газа и внешняя панель оповещения оператора об утечке
Блок автоматического продува линий и панели 


Модель
Размеры в см

ширина  глубина   высота*
 1 BC  38  51   202
 2 BC  64  51  202
 3 BC  102  51  202
*Под заказ возможно изготовление газовых шкафов меньших по высоте. 


Стандартные конфигурации газовых панелей в газовых шкафах


Двухбалонные конфигурации

  Процесс - Продув
Внешняя линия для продува недоступна 
  Процесс (без переключения)
Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува.
  Процесс (с переключением) 
Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува доступна.

Трех балонные конфигурации

  Процесс - Процесс - Продув (без переключения)
Газы совместимы для расположения в одном шкафу, внешняя линия продува недоступна. 
  Процесс - Процесс - Продув (с переключением)
Применяется когда непрерывный поток газа является критичным и доступна внешняя линия для продува. Переключение с пустого баллона на заполненный для непрерывного процесса. Внешняя линия продува не доступна.

Панели.

Газовые панели для подачи технологических газов


Легки в установке, эксплуатации, с коротким временем изготовления и поставки.


Модульный дизайн - дает возможность грамотной конфигурации системы с применением стандартных комплектующих.


Каталожные части - компоненты панелей это стандартные каталожные части ведущих поставщиков для полупроводниковой промышленности. Что гарантирует многообразие решений с наименьшей стоимостью, высоким качеством и коротким временем изготовления.


Стандартизированные компоненты -использование компонентов со стандартизированными размерами и функциональностью, позволяя легко осуществить замену в случае необходимости.


Клапаны: Rotarex, AP Tech, Swagelok, Veriflo 
Регуляторы: Rotarex, AP Tech, Tescom 
Датчики: MKS, Setra


     
      Серия IFS M-LM100

Автоматическая панель для коррозийных газов высокого давления.

SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3, смеси и др

Полностью автоматическая, для повышения чистоты процесса и безопасности.

Регулятор давления (T) для баллонов и датчик давления.

Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки.

Система вентури для увеличения эффективности продува линии.

Механическая защита от избыточного давления.

Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.

      Серия IFS M-LM300

Ручная панель для коррозийных газов высокого давления

SiH4 , HCl, HBr, Cl2 , NF3 , PH3 , смеси и др.

Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности.

Переключатель низкого давления (EFS) для определения утечки.

Система вентури для увеличения эффективности продува линии.

Механическая защита от избыточного давления.

Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.




      Серия IFS M-LM700

Ручная панель для инертных газов

фреоны, N20, SF6 и др.

Ручная газовая панель изготовленная с учётом требований стандартов безопасности.

Клапан продува (PGI) позволяет использовать газ для продува линий.

Система вентури для увеличения эффективности продува линии.

Механическая защита от избыточного давления.

Продуваемый хвостовик для предотвращения загрязнения во время смены баллонов.






Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх