Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка сушки пластин Tousimis Automegasamdri-815, Series B

США
  • картинка

Установка сушки в критической точке Automegasamdri-815, Series B

Сушка квадратных 10 мм пластин и круглых диаметра 1 дюйм в критической точке углекислого газа для производства МЭМС. Низкое потребление углекислого газа. Автоматическая обработка до 5 квадратных пластин 10 мм, или 5 круглых 1 дюйма менее чем за час. Минимальные требования к подключениям.

Производитель: Tousimis
Страна производитель: США

Основные возможности:

  • Сушка квадратных 10 мм пластин и круглых 1 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.
  • Низкое потребление углекислого газа.
  • Автоматическая обработка до 5 пластин менее чем за час.
  • Минимальные требования к подключениям.
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Установки сушки в критической точке Samdri успешно используются для повышения качества изготовленных МЭМС устройств, а также увеличения объема производства за счет уменьшения брака при выпуске. Установки используются для сушки в углекислом газе отделенных элементов МЭМС после жидкостного травления. Важнейшим преимуществом этих систем является предотвращение «слипания» элементов МЭМС.


Сушка квадратных 10 мм пластин и круглых 1 дюйма в критической точке углекислого газа для производства МЭМС.

Низкое потребление  углекислого газа.

Автоматическая обработка до  5 пластин менее чем за час.  

Минимальные требования к подключениям. 


 

Особенности:

 

- Высокая эффективность внутреннего замкнутого циклаохлаждения  (от 22С до рабочейтемпературы менее чем за 3 минуты)

 

- Фильтры легко могут быть сняты для простого техническогообслуживания

 

- Патентованная внутренняя система SOTER™ захватывает и  отделяет углекислый газ на выхлопе и удаляетпары спирта

 

 Уникальные вставки вкамеру, оптимизируют расход углекислого газа, продолжительность цикла, а такжепозволяет обрабатывать пластины различного размера.

 

- Обработка до 5 квадратных 10 мм пластин или 5 круглыхпластин диаметра  1 дюйм  одновременно. Держатели компании tousimis®устойчивые к плавиковой кислоты могут быть использованы в ваннах дляжидкостного травления, для минимизации времени перемещения от устройства кустройству.

 

- Автоматическая обработка пластин под контролеминтегрированного микропроцессора

 

- все внутренние поверхности инертны к углекислому газу иультрачистым спиртам

 

-  Повторяемыепараметры процесса обеспечивают высокую воспроизводимость результата

 

- Статистический модуль контроля давления обеспечиваетстабильное безопасное давление

 

- Внутренняя система фильтрации обеспечивает чистотууглекислого газа в камере до 0,4 микрон

 

- LED панель управления

 

- Дизайн установки подходящий для использования в чистойкомнате

 

- Все электронные компоненты соответствуют стандартам CE, ULи/или U.S. Military Specifications. 



Размеры установки: 14.25" (36.2 см) ширина x 10.25" (26.0 см) глубина x 21,5" (54.6 см) высота

Занимаемая площадь: 36" (92.0 см) ширина x 30" (76 см) глубина

Размер камеры: 1.25" x 1.25" / Объем камеры:25 мл

Пределы регулирования температуры: -30°C до 60°C, давление: от 0 до 2,000 psi

Электричество: 220В / 50 Гц 


Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх