Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка для отжига с ИК-лампой SCREEN LA-830

Япония
  • картинка

Установка для отжига с ИК-лампой LA-830. Представляет собой устройство для скоростной термической обработки с использованием печи с инфракрасным излучением. Область применения очень широка и включает в себя формирование силицида, устранение структурного дефекта кристаллической решетки после ионной имплантации, образование пленки термического оксида.

Производитель: SCREEN
Страна производитель: Япония

Основные возможности:

  • Широкая область применения
  • Хорошая воспроизводимость процесса
  • Высокопроизводительная камера с оптимизированным потоком газа
  • Улучшенная равномерность обработки.
  • Непрерывное управление термическим процессом
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

LA-830 представляет собой устройство для скоростной термической обработки с использованием печи с инфракрасным излучением. Область применения очень широка и включает в себя формирование силицида,  устранение структурного дефекта кристаллической решетки после ионной имплантации, образование пленки термического оксида.


Характеристики


・ Датчик температуры контакта пластины “TS probe” обеспечивает хорошую воспроизводимость процесса независимо от типов пластин и газов.

・ Высокопроизводительная камера с оптимизированным потоком газа создает среду обработки высокой чистоты. 

・ 18-ступенчатая регулировка мощности и уникальный механизм фиксации пластины обеспечивают улучшенную равномерность обработки.

・ Высокоскоростной температурный контроллер, предназначенный для линейного нагрева, предоставляет возможность непрерывного управления термическим процессом.


Базовая спецификация


Пластина/размер: Si/ 6 или 8 дюймов (выбор)


Перемещение пластины: Робот с двумя руками


Кварцевая рука, рука из керамики высокой чистоты (перемещение), кварцевый держатель

Перемещение в N2 (опция)


Термическая печь     

  

・Галогеновая лампа больше 18/меньше 18: мощность лампы 170В, 1.7кВт на лампу

・Корпус лампы: покрытие Au, водяное охлаждение

・Диапазон температур: 350C ~1100C

・Регулировка температуры: управление датчиком «TS probe» в замкнутом цикле

・Различные технологические/предохранительные блокировки


Газовый блок   

Регулирование массового расхода: макс. 4 газа


Габариты (мм):  795(ш)x2950(г)x2150(в)   *без пульта управления

Вес: 1150кг (основной корпус)

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх