Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка вакуумного напыления Evatec BAK 1101

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинка

Идеально подходит для высокоточной оптики в случае конфигурации с плазменным источником или для силовой электроники в случае двусторонней металлизации. При всех тех же возможностях что и у младших установок ВАК 1101 предоставляет огромный потенциал, в том числе и возможность работы с подложками 12” и выше

Производитель: Evatec
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Обработка большого количества подложек за один процесс
  • Огромные возможности для конфигурирования
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовки
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Контроль процесса:

ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Кварцевый и оптический мониторинг

Анализатор остаточного газа

Оптическая пирометрия

Полная SECS GEM совместимость

Геометрия вакуумной камеры:

Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков

Увеличенная дистанция – для Lift-off

Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания

Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

Подложкодержатели:

Стандартные сферические

С возможностью переворота

Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения

Разработка спец оснастки

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх