Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка вакуумного напыления Evatec BAK 641

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Вакуумная система напыления BAK-641 обладает достаточной вместительностью, чтобы разместить несколько источников и процесс аксессуаров, включая ионные источники, систему нагрева подложек с лицевой и обратной стороны. BAK-641 является идеальным выбором для нанесения высокоточных секвенций слоев для прецизионной оптики и оптоэлектроники. Оптимальная конструкция и эргономика системы позволит создать идеальный проводящий контакт на основе ITO, а возможность размещения и одновременной работы 2-х электронных пушек, обеспечит возможность роста надежным, многокомпонентным слоям для датчиков и силовой электроники

Производитель: Evatec
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Электронно-лучевая пушка
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом
  • Ионный источник
  • Держатели и системы крепления подложек в соответствии с требованиями заказчика

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитания

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Контроль процесса: 

  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска. 
  • Кварцевый и оптический мониторинг 
  • Анализатор остаточного газа 
  • Полная SECS GEM совместимость 

Производительность



Split Systems – Техническое решение компании Evatec


Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.


Основные возможности:


Высокая стабильность работы испарителя

Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением

Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды

Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание

Спецификация пленок (на пластинах диаметром 4 дюйма)

Равномерности

Система

Пленка

Толщина
[нм]

Скорость
[нм/с]

По пластине
[%]

Пластина к пластине
[%]

Между процессами
[%]

BAK

Cu

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

NiCr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Cr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Ti

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Al

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Ag

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Au

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Cr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх