Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Вакуумная система напыления BAK761 пользуется всемирной репутацией как эталон экономичного, массового производства, используемый в широком ряде приложений, требующих высокой точности в формировании покрытия и повторяемости в больших объемах производства. Ионное травление и термическое осаждение, “Lift-off” и напыление диэлектриков все это – может быть реализовано на одной гибкой платформе BAK-761

Производитель: Evatec
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Электронно-лучевая пушка до 3-х
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом

Инжиниринговые услуги:

Станция водоподготовкиГазовая обвязкаСистема бесперебойного электропитания

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Контроль процесса: 

  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска. 
  • Кварцевый и оптический мониторинг 
  • Анализатор остаточного газа 
  • Оптическая пирометрия 
  • Полная SECS GEM совместимость 

Геометрия вакуумной камеры: 

  • Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков 
  • Увеличенная дистанция – для Lift-off 
  • Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания 
  • Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock 

Подложкодержатели: 

  • Стандартные сферические 
  • С возможностью переворота 
  • Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения 
  • Разработка спец оснастки 

Производительность с различными типами подложкодержателей

Таблица производительности

Split Systems – Техническое решение компании Evatec

система вакуумного напыления Evatec


Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.


Основные возможности:


Высокая стабильность работы испарителя

Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением

Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды

Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание

Спецификация пленок (на пластинах диаметром 4 дюйма)

 

Равномерности

Система

Пленка

Толщина
[нм]

Скорость
[нм/с]

По пластине
[%]

Пластина к пластине
[%]

Между процессами
[%]

BAK

Cu

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

NiCr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Cr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Ti

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Al

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Ag

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Au

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%

Cr

100

По требованию заказчика

+/-5%

+/-5%

+/-5%



Автозагрузка



Планетарное вращение подложкодержателей
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх