Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка вакуумного напыления Evatec BAK 901

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинка

С размерами партий 51 (4”) и 23 (6”) подложки в стандартной калотте ВАК-901 предлагает на 25% больше производственной мощности чем ВАК-761. Большая вакуумная камера позволяет разместить различные комбинации электронных пушек, лодочек и ионного источника. При этом остается много свободного пространства для комфортного обслуживания источников напыления.

Производитель: Evatec
Страна производитель: Швейцария
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Работа с большими партиями
  • Электронно-лучевая пушка до 3-х
  • Резистивные испарители
  • Магнетронные и плазменные источники
  • Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
  • Плазменная очистка тлеющим разрядом
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
  • Кварцевый и оптический мониторинг
  • Анализатор остаточного газа
  • Оптическая пирометрия
  • Полная SECS GEM совместимость

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовки
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Геометрия вакуумной камеры:

Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков

Увеличенная дистанция – для Lift-off

Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания

Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock

Подложкодержатели:

Стандартные сферические

С возможностью переворота

Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения

Разработка спец оснастки
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх