Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка магнетронного напыления Evatec LLS Evo II

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинка

Магнетронное напыление с помощью постоянного (DC) и ВЧ (RF) тока, комбинированное (DC/RF) напыление, напыление с помощью постоянного тока в режиме пульсации. Позволяет проводить плазменную очистку подложек в загрузочном шлюзе, что предотвращает загрязнение процессной камеры.

Производитель: Evatec
Страна-производитель: Швейцария
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • До 5 магнетронных источников – DC, RF, DC/RF, DC в режиме пульсации
  • Напыление металлов, диэлектриков и TCO пленок
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
  • Возможность напыления через жесткие маски, минуя процесс литографии
  • Опция автоматической загрузки/выгрузки подложек из кассеты в кассету
  • Опция сканера штрих-кодов для полностью автоматизированного производства
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовки

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта


Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования lls evo ii


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования lls evo ii
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх