Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Idonus SMA

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинка

Установка совмещения SMA. Напыление слоев металла в вакууме через маску.

Осаждение тонких пленок через маску это мощный инструмент формирования PVD слоев. Вы пропускаете этап фотолитографии и мокрого или сухого травления, очень точно осаждая слой пленки через маску.

Производитель: Idonus
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Вакуумный держатель пластин
  • Вакуумный держатель масок
  • Простой механизм фиксации пластин
  • Антивибрационный держатель для PVD
  • Идеальна для различных размеров пластин
  • Не требует инсталляции
  • Низкие расходы на запуск

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Общая информация

Осаждение тонких пленок через маску это мощный инструмент формирования PVD слоев. Вы пропускаете этап фотолитографии и мокрого или сухого травления, очень точно осаждая слой пленки через маску.

Компания Idonus предлагает высокоточную систему совмещения маски с пластиной. Оборудование обеспечивает высокую повторяемостью результата. Система оборудована специальным антивибрационным держателем. Используя микроскоп можно добиться точности совмещения в 6 микрон. После совмещения держатель может быть помещен в вакуумную камеру PVD.

После осаждения маска может быть отделена от пластины, разъединив крепление держателя, далее маску можно использовать повторно. Могут быть поставлены держатели под разные размеры пластин и масок.


Схема




Изображение системы для пластин 100 мм с держателем готовым к совмещению



Схема держателя




Изображение установки подготовленной к загрузке пластины.
Нижняя часть отодвинута для загрузки пластины в нижний держатель (маска не загружена на изображении)



Блок распределения воздуха.


Блок распределения вакуума для индивидуального переключения и регулировании вакуума на различные держатели.



Оборудование для полного цикла производства
Idonus SMA микроскоп

Idonus SMA микроскоп

Цифровой микроскоп с двумя независимыми ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх