Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec SOLARIS S151

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинка

Пропускная способность установки позволяет обрабатывать 1200 подложек размером до 8” за час. Обрабатываемые подложки могут быть как гибкими, так и жесткими. Основная область применения – производство сенсорных экранов, солнечных батарей и светодиодов. Установка SOLARIS S151 предлагает следующий комплекс процессов: магнетронное напыление, нагрев, отжиг, травление, «flash» - распыление (частицы распыляемого вещества дозировано подаются на сильно разогретую поверхность и испаряются мгновенно)

Производитель: Evatec
Страна-производитель: Швейцария
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Гибкая конфигурация – каждая процессная камера отделена от соседних
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
  • Высокая пропускная способность – до 1200 подложек 8” в час
  • Равномерность слоя до ±2% за счет вращения подложек во время процесса
  • Максимальная область покрытия во время процесса – окружность диаметром 225 мм
  • Отжиг при температуре до 550°С
  • Чистка и активация поверхности с помощью травления
  • Простая интеграция в производственный процесс
  • Быстрая замена мишеней и защитных экранов
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовки

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта


Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования solaris s151


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования solaris s151
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх