Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec SOLARIS S151

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинка

Пропускная способность установки позволяет обрабатывать 1200 подложек размером до 8” за час. Обрабатываемые подложки могут быть как гибкими, так и жесткими. Основная область применения – производство сенсорных экранов, солнечных батарей и светодиодов. Установка SOLARIS S151 предлагает следующий комплекс процессов: магнетронное напыление, нагрев, отжиг, травление, «flash» - распыление (частицы распыляемого вещества дозировано подаются на сильно разогретую поверхность и испаряются мгновенно)

Производитель: Evatec
Страна производитель: Швейцария
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Гибкая конфигурация – каждая процессная камера отделена от соседних
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
  • Высокая пропускная способность – до 1200 подложек 8” в час
  • Равномерность слоя до ±2% за счет вращения подложек во время процесса
  • Максимальная область покрытия во время процесса – окружность диаметром 225 мм
  • Отжиг при температуре до 550°С
  • Чистка и активация поверхности с помощью травления
  • Простая интеграция в производственный процесс
  • Быстрая замена мишеней и защитных экранов
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовки
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх