Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка вакуумного напыления Vinci PVD-10

Франция
  • картинка
  • картинка
картинкакартинка

PVD-10 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач

Производитель: Vinci
Страна производитель: Франция

Основные возможности:

  • Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 10
  • Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
  • Электронная пушка (4 ячейки по 6 см3 )
  • От 1” до 4” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
  • До 4-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
  • Датчики потоков газов с регуляторами
  • Регулировка давления дроссельной заслонкой
  • Совмещение термических и магнетронных процессов

Инжиниринговые услуги:

Станция водоподготовкиГазовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхВакуумные манипуляторыДержатели образцов Нагрев / ОхлаждениеДержатели образцов с ручным управлением
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Контроль процесса:
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
  • Кварцевый и резистивный мониторинг
  • Регулировка рабочего вакуума

Функция 

 

Система

PVD-10 E

PVD-10 S

PVD-10 H

Нагрев подложки (до 600° С)

x

x

x

Охлаждения подложки

x

x

x

Вращения подложки

x

x

x

Магнетроны (до 4-х)

-

x

В зависимости от кол-ва термических источников

Расположение магнетронов снизу

-

x

-

Расположение магнетронов сверху

-

x

x

Термические источники (до 10-х) x -

В зависимости от кол-ва магнетронных источников

Перчаточный ящик  x -

x

Изолирование держателя подложки для подачи смещени - x x
Ионный источник - - x
Возможность регулирования рабочего давления - x x
Монтаж, установка 40 метрового UHV туннеля. Institute Jean Lamour, Nancy, France.
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх