| Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Установка вакуумного напыления Vinci PVD-4
PVD-4 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач
Производитель: Vinci
Страна-производитель: Франция
Основные возможности:
- Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 4-х
- Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
- 1” и 2” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
- До 3-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
- Регулировка давления дроссельной заслонкой
- Совмещение термических и магнетронных процессов
Инжиниринговые услуги:
Станция водоподготовкиМонтаж газовых линийСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхПодойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Контроль процесса:
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
- Кварцевый и резистивный мониторинг
- Регулировка рабочего вакуума
Функция |
Система |
||
|
PVD-4 E |
PVD-4 S |
PVD-4 H |
|
| Нагрев подложки (до 600° С) |
x |
x |
x |
| Охлаждения подложки (до -150° С) |
x |
x |
x |
|
Вращения подложки |
x |
x |
x |
| Магнетроны (до 3-х) |
- |
x |
x |
| Расположение магнетронов снизу |
- |
x |
- |
|
Расположение магнетронов сверху |
- |
x |
x |
| Термические источники (до 2-х) | x | - |
x |
| Шлюзовый загрузчик | - | - |
x |
| Изолирование держателя подложки для подачи смещения | - | x | x |
| Стеклянная камера | x | x | x |
| Кварцевый датчик | x | x | x |
| Возможность регулирования рабочего давления | - | x | x |
Монтаж, установка 40 метрового UHV туннеля. Institute Jean Lamour, Nancy, France.




MT-1000 : Манипулятор для подложек 1" с возможностью нагрева до 1000°С
MP-800 : Манипулятор для подложек до 2" / 800°C с возможностью подачи O2
MLN2-800 : Манипулятор -130°C / +800°C
495 287 8577
infos@tbs-semi.ru
Найти на карте