Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка вакуумного напыления Vinci PVD-4

Франция
  • картинка
  • картинка
картинкакартинка

PVD-4 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач

Производитель: Vinci
Страна производитель: Франция

Основные возможности:

  • Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 4-х
  • Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
  • 1” и 2” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
  • До 3-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
  • Регулировка давления дроссельной заслонкой
  • Совмещение термических и магнетронных процессов

Инжиниринговые услуги:

Станция водоподготовкиГазовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данных

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Контроль процесса:
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
  • Кварцевый и резистивный мониторинг
  • Регулировка рабочего вакуума

Функция 

 

Система

PVD-4 E

PVD-4 S

PVD-4 H

Нагрев подложки (до 600° С)

x

x

x

Охлаждения подложки (до -150° С)

x

x

x

Вращения подложки

x

x

x

Магнетроны (до 3-х)

-

x

x

Расположение магнетронов снизу

-

x

-

Расположение магнетронов сверху

-

x

x

Термические источники (до 2-х) x -

x

Шлюзовый загрузчик - -

x

Изолирование держателя подложки для подачи смещения - x x
Стеклянная камера x x x
Кварцевый датчик x x x
Возможность регулирования рабочего давления - x x
Монтаж, установка 40 метрового UHV туннеля. Institute Jean Lamour, Nancy, France.
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх