Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка формирования пористого кремния MOT μPor

Германия
  • картинка

Система жидкостного травления пористого кремния µPor - комплексное решение для формирования и электрополировки кремния

Производитель: MOT
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Формирование пористого кремния
  • Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
  • Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
  • Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
  • Постановка и сдача процесса под задание заказчика

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Система жидкостного травления пористого кремния µPor - комплексное решение для формирования и электрополировки кремния.

Главный бак системы оборудован патрубками для постоянного безопасного отвода HF-пара. Для прямого слива HF установлены фторопластовые вентили. Имеется возможность установки оптического окна для формования с участием света.

Окно изготовлено из устойчивого к HF сапфирового стекла c кварцевыми дисками в качестве защиты от растрескивания и устанавливается в герметичный фланец. В других случаях устанавливается заглушка из непрозрачного полипропилена. Пластина устанавливается в заменяемый держатель и закрепляется двойными уплотнительными кольцами, разделяя бак на две ванны. Далее держатель фиксируется пневматикой. После этого обе ванны с HF изолируются от электричества.

Два платиновых сетчатых электрода, по одному на ванну, контактируют с пластиной с обоих сторон. Для достижения равномерности эл. поля используются электроды одинакового размера с пластиной. Если требуется полное отсутствие ионов металла в рабочем, поле, электроды выполняются из кремния. При необходимости возможна рециркуляция HF с помощью мембранной помпы. Это позволяет жидкости остывать за счет теплового обмена. Доступны индивидуальные решения по спецификациям заказчика.

КОРПУС
Материал:
стандартно полипропилен белый, дополнительно PVDF
Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный ПВХ.

СТАНДАРТНЫЕ КОМПОНЕНТЫ
Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта
Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
Помпа: изготовлена из пластика PP, опц. PVDF или PTFE
Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF или PTFE
Трубопровод из полипропилена, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
Панель управления: PLC, опционально компьютерное управления

ЭЛЕМЕНТЫ УПРАВЛЕНИЯ, ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ 
И ПНЕВМАТИКА
Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.

ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ ОПЦИИ
Автоматические манипуляторы 
Интеграция ванн предварительной и пост обработки
Ламинарный шкаф
Быстрое подключение для слива жидкостей
Работа с электролитами и возможность включения процессов
Интерфейс для работы с данными о процессе
Индивидуальные решения


МОДУЛЬ ОЧИСТКИ

Промывочный модуль:

стандартная стоп-ванна, ванна быстрого отмыва.

Модули просушки: стандартные модули центробежной отмывки и сушки пластин.

ДОП. ОПЦИИ ДЛЯ ПРОЦЕССА
Технологическая камера с поддержкой нескольких процессов
Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх