Cистема четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 178

Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления предназначена для измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых пластин и нанесенных на них слоев

Производитель: CDE

Страна-производитель: США

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

ручной загрузки пластин диаметром от 2” до 8”, а также кусков пластин
измерения удельного поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
автоматического перемещения четырехзондового пробника по точкам измерения на поверхности пластины для картирования распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
построения карт распределения удельного поверхностного сопротивления на поверхности пластины и получения данных для обработки в Excel

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Спецификации

Инженерное обеспечение
Параметр	Величина
Загрузка пластин	Автозагрузка из кассет
Максимальный диаметр пластин	8,2”
Максимальный размер квадратных пластин	5,8” x 5,8”; 156 мм x 156 мм
Типичное время измерения	1 сек. на точку
Максимальная производительность	1 минута на пластину (49 точек)
Диапазон измерения удельного поверхностного сопротивления	2 мОм/кв – 5 МОм/кв (может быть расширен до 1 мОм)
Воспроизводимость (1σ, обычно)	≤ ± 0,02 % (статическая или набор Rs); ≤ ± 0,1 % (динамическая - по соседним точкам)
Точность	≤ ± 0,5 %, при использовании ResCal - поверочных стандартов NIST
Размер непроверяемой зоны	1,5 мм (от центра зонда до края пленки)
Компьютерная система	Класс Pentium®4; Windows XP Home (дисплей не включен в поставку)
Опция SECS-II	Доступна
Схемы картирования	полярное картирование (ориентация по метке / срезу); прямоугольное картирование (выборка поля внутри за исключением краев); сканирование по линии (диаметр, радиус или любая точка, на диаметре, минимальный шаг 0,1 мм); определенная пользователем матрица точек.
Построение диаграмм	изолинейных (выбор интервала, 1/3 σ, фиксированных и автопроцентованных); трехмерных; линейных; карт данных; гистограмм; последовательностей данных; радиальных и угловых распределений; доступно построение карт трендов различных типов.
Данные	Все файлы данных могут быть перенесены для дальнейшего анализа в такие программы, как Excel.
Электропитание	(100 – 240) В, 50 Гц, <10 кВА
Размер Ш x Д x В, дюймы	12” x 19” x 10”