Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Cистема четырехзондового измерения поверхностного сопротивления ResMap 178

США
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Автоматическая система четырехзондового измерения поверхностного сопротивления предназначена для измерения поверхностного сопротивления полупроводниковых пластин и нанесенных на них слоев

Производитель: CDE
Страна производитель: США

Основные возможности:

  • ручной загрузки пластин диаметром от 2” до 8”, а также кусков пластин
  • измерения удельного поверхностного сопротивления четырехзондовым методом
  • автоматического перемещения четырехзондового пробника по точкам измерения на поверхности пластины для картирования распределения удельного сопротивления по поверхности пластины
  • построения карт распределения удельного поверхностного сопротивления на поверхности пластины и получения данных для обработки в Excel

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Параметр Величина
Загрузка пластин
Автозагрузка из кассет
Максимальный диаметр пластин
8,2”
Максимальный размер квадратных пластин
5,8” x 5,8”; 156 мм x 156 мм
Типичное время измерения
1 сек. на точку
Максимальная производительность
1 минута на пластину (49 точек)
Диапазон измерения удельного поверхностного сопротивления
2 мОм/кв – 5 МОм/кв (может быть расширен до 1 мОм)
Воспроизводимость (1σ, обычно)
≤ ± 0,02 % (статическая или набор Rs);

≤ ± 0,1 % (динамическая - по соседним точкам)
Точность
≤ ± 0,5 %, при использовании ResCal - поверочных стандартов NIST
Размер непроверяемой зоны
1,5 мм (от центра зонда до края пленки)
Компьютерная система
Класс Pentium®4; Windows XP Home (дисплей не включен в поставку)
Опция SECS-II
Доступна
Схемы картирования
  • полярное картирование (ориентация по метке / срезу);
  • прямоугольное картирование (выборка поля внутри за исключением краев);
  • сканирование по линии (диаметр, радиус или любая точка, на диаметре, минимальный шаг 0,1 мм);
  • определенная пользователем матрица точек.
Построение диаграмм
  • изолинейных (выбор интервала, 1/3 σ, фиксированных и автопроцентованных);
  • трехмерных;
  • линейных;
  • карт данных;
  • гистограмм;
  • последовательностей данных;
  • радиальных и угловых распределений;
  • доступно построение карт трендов различных типов.
Данные
Все файлы данных могут быть перенесены для дальнейшего анализа в такие программы, как Excel.
Инженерное обеспечение
Электропитание
(100 – 240) В, 50 Гц, <10 кВА
Размер Ш x Д x В, дюймы
12” x 19” x 10”



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования resmap 178


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования resmap 178
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх