---

Дайте толчок развитию своих проектов

---

COSMA Pulse – новое ПО управления технологическим процессом для создания импульсных рецептов или рецептов с временным мультиплексированием – наилучший выбор инженеров-разработчиков.

Полная гибкость в процессах травления

Разработанная с учетом требований научно-исследовательского рынка, программа COSMA Pulse обеспечивает идеальную гибкость процесса травления. Благодаря этому ПО инженеры теперь имеют возможность редактировать и управлять рецептами для стандартного процесса травления (индуктивно связанная плазма и реактивное ионное травление), процессов глубокого реактивного ионного травления (Бош- процесса) или процессов травления атомных слоев – всё с помощью одной машины из линейки CORIAL 200.

Пользователь может одновременно и независимо друг от друга задать до 15 параметров процесса, включая давление, поток газа, RF- и LF- мощность.

COSMA Pulse обеспечивает интеллектуальное управление процессом травления с использованием не только стандартных функций «SET to» и «RAMP to», но и с новой функцией «PULSE», которая запускает пульсацию любого технологического параметра.

Интуитивная ГИП-среда

Интерфейс программы COSMA позволяет разработать процесс быстро и без усилий

Образец на примере Бош-процесса (DRIE)

---

Рис. 1

Теперь лаборатория компании CORIAL оснащена новым ПО COSMA Pulse. Первая демонстрация возможностей данного ПО была проведена для так называемого Бош-процесса.

Процесс травления (DRIE) по Бошу позволяет провести глубокое анизотропное травление кремния путем повторения шагов травления и пассивирования.

Запись данных Бош-процесса на Corial 210IL (Рис. 1)
Красная кривая => расход C2H4
Синяя кривая => расход SF6 rate
Зеленая кривая => прямая RF-мощность

• Общее время процесса: 20 мин
• 60 циклов (шаги травления и пассивирования)
• Продолжительность периода: 20 с

1-й шаг - Травление

Направленные ионные и ненаправленные реактивные частицы производят травление кремния в течение нескольких секунд,

Шаг пассивирования

Покрытие всей поверхности полимером, сформированным в плазме с использованием C2H4 в качестве газа-прекурсора,

Глубокое реактивное ионное травление (DRIE) кремния на Corial 210IL

Повторение

С помощью SF6 в плазменной среде путём ионной бомбардировки производится травление полимера на дне желобков; когда появится кремний, происходит его травление нейтральными частицами. Этот цикл повторяется для получения глубокого травления через кремний.

Ключевые технические возможности для процесса травления по Бошу

• Камера высокоплотной плазмы обеспечивает высокую газовую проводимость для быстрого перехода между шагами (50 мс)
• Стенки камеры с нагревом от плазмы для уменьшения конденсации полимеров
• Автоматическая локальная очистка плазмы для увеличения периодов между ручными чистками.
• Определение уставки с помощью лазерной рефлектометрии

О компании CORIAL

---

Компания CORIAL производит оборудование для плазмохимического травления и осаждения, которое отвечает требованиям к качеству и производительности всех наших клиентов в различных областях-facility от научно-исследовательских институтов до массового производства.

Применение

Линейка продуктов CORIAL включает в себя системы для реактивно ионного травления (RIE), травление в индуктивно связанной плазме (ICP), химического парофазного осаждения с индуктивно связанной плазмой (ICP-CVD) и плазмохимического осаждения из паровой фазы (PECVD) с постоянными или импульсными параметрами процесса и имеет ряд применений:

Анализ отказов МЭМС/НЭМС СИД/ОСИД 3D структурирование

Беспроводные устройства Фотошаблоны Силовая электроника Нанотехнологии

Чистая комната и помещение

• Помещение площадью 1 800 кв. футов.
• Чистая комната площадью 500 кв. футов. для сборки системы и ее тестирования
• Лаборатория для разработки и оптимизации процесса.
• Склад для запчастей

Техническая поддержка

---

В CORIAL мы стремимся быть не только поставщиками систем для травления и осаждения, но и надежным партнером, нацеленным на успех всех ваших проектов. Компания CORIAL предлагает широкий ряд пакетов технической поддержки, созданных с учетом конкретных нужд и ожиданий наших клиентов, с начала наших отношений и на протяжении всего срока службы оборудования.

Например, для каждого устройства с нашего завода мы предлагаем бесплатную установку, пошаговую процедуру приемки и пуска оборудования на объекте заказчика.

Поддержка программного обеспечения CORIAL производится командой высококвалифицированных специалистов. Поддержка ПО не ограничена и предоставляется бесплатно для всех наших клиентов. Чтобы помочь вам в разработке процессов травления и осаждения, которые будут протекать точно, надежно и стабильно, наша лаборатория оснащена целым рядом различных измерительных приборов (включая сканирующий электронный микроскоп, атомно-силовой микроскоп, профилометр,   спектроскопический эллипсометр).

Команда поддержки CORIAL является основным контактом для наших клиентов, где они могут получить ответы на все вопросы, касающиеся эксплуатации оборудования, технического обслуживания и устранения неисправностей. Поддержка аппаратного и программного обеспечения предоставляется бесплатно в течение двух лет с момента приемки оборудования. Удаленный доступ к системе (с разрешения заказчика) позволяет провести осмотр системы и даже загрузить процессы через нашу виртуальную частную сеть (VPN). Удаленный доступ гарантирует скорый ответ и эффективное обслуживание.

CORIAL также предлагает гибкие программы обучения по оборудованию и процессам, созданные в соответствии с вашими нуждами, с индивидуальным содержанием, предметом и продолжительностью.


Перейти к установкам CORIAL