---

Травление материалов группы А3-Б5 для медицинских лазерных систем

Оптимизированное оборудование для полупроводниковых лазеров VCSEL
и лазерных диодов

Система травления Corial 210IL может использоваться для крупносерийного производства полупроводниковых лазеров и лазерных диодов на пластинах размером до 8 дюймов. Ключевыми требованиями в процессе травления являются равномерность травления и высокая воспроизводимость результатов, что является необходимым условием для производственной среды.

Система Corial 210IL разработана на платформе проверенного в производственных условиях источника индуктивно-связанной плазмы. Система укомплектована реактором с горячими стенками и высокочастотным блоком согласования с диапазоном от 100 до 2000 Вт. Подобная гибкость позволяет использовать установку для целого ряда применений, в частности при изготовлении медицинских лазерных систем, включая травление слоев  AlхGa1-хAs/GaAs/InGaAs, AlInAs/GaInAs/InP и InGaP/GaAs. Благодаря эффективному использованию новой конструкции катода и гелиевого охлаждения задней стороны пластины, система индуктивно-связанной плазмы также обеспечивает поддержания температуры пластины (от -50°C) во время процесса травления для лучшей воспроизводимости результатов в каждом рабочем цикле.

Контракт с ведущим производителем медицинских устройств в СНГ

CORIAL заключила крупную сделку с ведущим производителем медицинских устройств в СНГ (травление структуры Проводник-Диэлектрик-Полупроводник). Производитель с головным офисом в России имеет широкие производственные мощности и специализируется на изготовлении систем, которые используются в таких областях, как косметология и здравоохранение.

В данном конкретном случае, толщина подложек GaAs и InP, указанная нашим заказчиком в техническом задании, отличается от традиционной.

Наша уникальная конструкция держателя пластин в сочетании со стандартным катодом позволяет экономично модернизировать реактор для работы с подложками разных форм и размеров. Менее чем за день мы смогли разработать индивидуальный дизайн держателя для работы с пластинами заданной толщины, который позволил свести к минимуму область исключения.

Инженеры компании ТБС произвели установку в производственных цехах заказчика и оборудование запущено в работу.

Технологические показатели медицинских лазерных систем

Установка Corial 210IL IPC-RIE (ИСП-РИТ) с вакуумным загрузочным шлюзом для подложек размером до 200 мм. В системе используются хлоросодержащие активные газы для работы с материалами группы III-V, такими как GaN, AlGaN, GaAs, или травления InP.

• Скорость травления 1200 нм/мин
• Равномерность  ±3%
• Селективность с фотошаблоном из SiO₂ > 50

О компании CORIAL

---

Компания CORIAL производит оборудование для плазмохимического травления и осаждения, которое отвечает требованиям к качеству и производительности всех наших клиентов в различных областях-facility от научно-исследовательских институтов до массового производства.

Применение

Линейка продуктов CORIAL включает в себя системы для реактивно ионного травления (RIE), травление в индуктивно связанной плазме (ICP), химического парофазного осаждения с индуктивно связанной плазмой (ICP-CVD) и плазмохимического осаждения из паровой фазы (PECVD) с постоянными или импульсными параметрами процесса и имеет ряд применений:

Анализ отказов МЭМС/НЭМС СИД/ОСИД 3D структурирование

Беспроводные устройства Фотошаблоны Силовая электроника Нанотехнологии

Чистая комната и помещение

• Помещение площадью 1 800 кв. футов.
• Чистая комната площадью 500 кв. футов. для сборки системы и ее тестирования
• Лаборатория для разработки и оптимизации процесса.
• Склад для запчастей

Техническая поддержка

---

В CORIAL мы стремимся быть не только поставщиками систем для травления и осаждения, но и надежным партнером, нацеленным на успех всех ваших проектов. Компания CORIAL предлагает широкий ряд пакетов технической поддержки, созданных с учетом конкретных нужд и ожиданий наших клиентов, с начала наших отношений и на протяжении всего срока службы оборудования.

Например, для каждого устройства с нашего завода мы предлагаем бесплатную установку, пошаговую процедуру приемки и пуска оборудования на объекте заказчика.

Поддержка программного обеспечения CORIAL производится командой высококвалифицированных специалистов. Поддержка ПО не ограничена и предоставляется бесплатно для всех наших клиентов. Чтобы помочь вам в разработке процессов травления и осаждения, которые будут протекать точно, надежно и стабильно, наша лаборатория оснащена целым рядом различных измерительных приборов (включая сканирующий электронный микроскоп, атомно-силовой микроскоп, профилометр,   спектроскопический эллипсометр).

Команда поддержки CORIAL является основным контактом для наших клиентов, где они могут получить ответы на все вопросы, касающиеся эксплуатации оборудования, технического обслуживания и устранения неисправностей. Поддержка аппаратного и программного обеспечения предоставляется бесплатно в течение двух лет с момента приемки оборудования. Удаленный доступ к системе (с разрешения заказчика) позволяет провести осмотр системы и даже загрузить процессы через нашу виртуальную частную сеть (VPN). Удаленный доступ гарантирует скорый ответ и эффективное обслуживание.

CORIAL также предлагает гибкие программы обучения по оборудованию и процессам, созданные в соответствии с вашими нуждами, с индивидуальным содержанием, предметом и продолжительностью.


Перейти к установкам CORIAL