Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Полностью автоматическая система дебондинга и очистки пластин Suss XBC300 Gen2

Германия
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинка

Платформа XBC300 Gen2 компании SUSS предназначена для разработки технологического процесса, а также для крупносерийного производства 200/300 мм полупроводниковых пластин. Установка предлагает модули для механического дебондинга пластин, дебондинга с помощью эксимерного лазера и очистки пластин и подложки

Производитель: SUSS MicroTec
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Универсальная платформа для пластин 200 / 300 мм
  • Разработка процесса и производство на одном устройстве
  • Технологические модули включают в себя модули: механического дебондинга, дебондинга с эксимерным лазером, удаления клеевого слоя с тонких пластин на пленке, удаления клеевого слоя для транспортировочных подложек
  • Полностью автоматическая платформа
  • Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Платформа XBC300 Gen2 компании SUSS предназначена для разработки технологического процесса, а также для крупносерийного производства 200/300 мм полупроводниковых пластин. Установка предлагает модули для механического дебондинга пластин, дебондинга с помощью эксимерного лазера и очистки пластин и подложки. Универсальная платформа обеспечивает гибкость процессов в условиях полной автоматизации при низких эксплуатационных издержках.

XBC300 Gen2 является дополнительной платформой к установке временного сращивания (бондинга) пластин XBS300. Пластины с сформированными устройствами приклеивается к транспортировочной подложке системой временного сращивания пластин XBS300, а затем производят процесс дебондинга в XBS300, после обработки обратной стороны и крепления к носителю.

XBC300 Gen2 - кластерная система дебондинга и очистки пластин, работающая при комнатной температуре, предназначенная для широкого спектра применений дебондинга и очистки тонких пластин на пленке размером 200 и 300 мм.

Возможна обработка полупроводниковых пластин толщиной 50 мкм и даже меньше. Допустимо использование стеклянных или кремниевых подложек, а также нестандартных подложек диаметром 201 или 301 мм.

Платформа предлагает два варианта дебондинг разделением или дебондинг с помощью эксимерного лазера. Эти способы представляют собой самые современные решения в области 2.5D- и 3D- интеграции, обеспечивая высокую пропускную способность и низкие эксплуатационные издержки.

Очистка тонких пластин после дебондинга завершается установкой и фиксацией на пленке носителе. Во время процесса химической очистки установочная рама и пленка закрываются защитным кольцом, чтобы гарантировать целостность пленки. Кроме того, доступен специальный модуль влажной очистки расжатых пластин.

Запатентованная модульная конструкция кластера с технологией «Dock and Lock» позволяет легко модернизировать модули на месте для расширения их функциональности или увеличения пропускной способности для перехода к крупносерийному производству.

Дебондинг. Гибкость для различных технологических требований


DB300T – Механический дебондинг разделением


Suss XBC300 Gen2 Держатель рамы с пористой пленкой и гибкий дискМодуль DB300T работает с широчайшим выбором адгезивов и разделительных слоев для механического дебондинга. В процессе механического дебондинга транспортировочная подложка отделяется от полупроводниковой пластины со сформированными приборами по индивидуальному разделительному слою, который используется на одной из пластин.

Держатель рамы с пористой пленкой и гибкий диск




Продвижение уровня разделения по разделительному слою контролируется на протяжении всего процесса, чтобы свести к минимуму механическую нагрузку на пластину. Этот способ совместим с различными материалами опорных подложек, включая стекло и кремний.

ELD300 – Дебондинг с использованием эксимерного лазера


Suss XBC300 Gen2 Приближенное изображение ступенчатого луча используемого для расцепления пластинМодуль ELD300 использует технологию эксимерного лазера для отделения транспортировочной подложки от пластины со сформированными приборами. Поскольку данный способ основан на технологии УФ-лазера, допустимо использовать только светопрозрачные подложки, например из стекла или сапфира. Импульсный эксимерный лазер высокой мощности разбивает химические связи УФ-поглощающего адгезива или
Приближенное изображение ступенчатого луча, используемого для расцепления пластин
разделительного слоя близко к поверхности подложки.

Очистка. Удаление адгезива и разделительного слоя после дебондинга.


Suss XBC300 Gen2 Модуль AR300TFс защитным кольцом для очистки тонких пластин со сформированными приборами закрепленных на пленке

AR300TF – Очистка тонких пластин


Модуль очистки AR300TF позволяет удалить остатки адгезива или разделительного слоя с пластины, закрепленной на пленке с помощью жидких реактивов. Модуль имеет отдельные распыляющие руки для очистки и промывки и предлагает также ряд опций, таких как нанесение проливом, спреем или под давлением, а также сушку азотом. Защитное кольцо закрывает пленку и раму в течение всего процесса очистки.


На изображении модуль AR300TFс защитным кольцом для очистки тонких пластин со сформированными приборами, закрепленных на пленке.


Suss XBC300 Gen2 Модуль AR300 для жидкостной химической очистки опорных пластин

AR300 – Очистка подложки


Модуль AR300 позволяет проводить чистку проливом, спреем или под высоким давлением пластин и транспортировочных подложек, а также имеет встроенную опцию промывки обратной стороны. Для данного модуля доступны те же распыляющие манипуляторы и химические реактивы, что и для AR300TF.

Модуль AR300 для жидкостной химической очистки опорных пластин


Общие сведения
Количество модулей до 6 для механического дебондинга и чистки
Специальная конфигурация с эксимерным лазером
Размер пластины 200 / 300 мм. Совместимость с нестандартными подложками (201 / 301 мм)
Размер рамы Рамы для пластин 200 / 300 мм
Загрузочный порт пластины Полностью автоматический порт FOUP, FOSB со встроенным картированием пластины, считывателем RF-ID и совместимостью с опционной транспортной системой OHT. Доступен адаптер для пластин 200 мм
Порт загрузки кассеты Полностью автоматический порт для кассет с открытой рамой 200 и 300 мм (совместим с SEMI G77-0699) или 450 мм
MAC загрузочный порт для кассет с закрытой рамой, опционально совместим с транспортной системой OHT. Обе опции загрузочного порта оснащены встроенным картированием пластин и дополнительным считывателем RF-ID
Перемещение пластин Шестикоординатный робот со специальным концевым захватом для перемещения пластины и рамы, встроенная функция переворота пластины, предварительное совмещение с помощью камеры и дополнительный ID-считыватель. Совместимость со стеклянными или кремниевыми подложками.
Интерфейс пользователя ОС Windows 7 с ПО SUSS ММК (мульти-модульный контроль)
DB300T – Установка механического дебондинга пластин
Перемещение подложек Стопка пластин, установленный на раму
Процесс расцепления Механическое расслоение при комн. темп-ре.
Параметры расцепления Программируемое начало процесса. Усилие разделения и параметры контроля продвижения процесса разделения программируются в нескольких зонах. Настраиваемые пределы для остановки процесса, если сила сцепления слишком велика для обеспечения целостности пластины
Мониторинг процесса Параметры отделения подложки и данные процесса регистрируются
ЕLD300 – Установка дебондинга с эксимерным лазером
Перемещение подложек Стопка пластин, установленный на раму
Процесс расцепления Дебондинг при комнатной температуре с помощью эксимерного лазера и стеклянных подложек
Параметры расцепления Программируемые поток лазерного излучения, схема сканирования и скорость, частота импульсов
Характеристики лазера 308 нм, поток до 400 мДж/см², частота импульсов 50 Гц
AR300TF – Установка удаления клеевого слоя с тонких пластин на пленке
Перемещение подложки (Тонкие) пластины на раме с пленкой
Защита рамы и пленки Защитное кольцо закрывает пленку и раму для обеспечения целостности
Распыляющих рук 2 распыляющие руки
Распыляющих линий до трех 3 линий для хим. реактивов, до 2 линий финальной промывки плюс сушка с N2
Контроль расхода программируемый в рецепте контроль расхода для всех линий хим. реактивов
Типы сопел струя, спрей
Сопло высокого давления (точечное или спреевое распыление)
Опции Контроль температуры линий распыления
Система распыления высокого давления
Система рециркуляции/ультра/мегазвуковой преобразователь или система распыления
AR300 – Установка удаления клеевого слоя для транспортировочных подложек
Перемещение подложки пластины/подложки
Распыляющих рук см. AR300TF
Распыляющих линий см. AR300TF
Встроенная функция промывки обратной стороны
Контроль расхода см. AR300TF
Типы сопел см. AR300TF
Опции см. AR300TF
Опции
Автоматизация SECS/GEM
Совместимость с OHT (навесная транспортная система)
Очистка наружного воздуха Блоки фильтров
Ионизаторы
Переносная чистая комната
Безопасность Система подавления пожара
Коммуникации
Вакуум мин. -0.8 бар, ±5 %
N2 8 бар, ±10 %
Сжатый сухой воздух 8 бар, ±10 %
Вытяжка Зависит от конфигурации
Питание Зависит от конфигурации

Оборудование для полного цикла производства
SUSS ACS300 Gen2

SUSS ACS300 Gen2

SUSS ACS300 Gen2 – это модульная кластерная ...

SUSS MA300 Gen2

SUSS MA300 Gen2

Высокоавтоматизированная установка совмещения и ...

SUSS XBS300

SUSS XBS300

Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх