Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Платформа для временного сращивания пластин Suss XBS300

Германия
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет следующее поколение решений для крупносерийного производства в области временного сращивания пластин

Производитель: SUSS MicroTec
Страна-производитель: Германия

Основные возможности:

  • Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
  • Работает со всеми доступными адгезивами
  • Разработка процесса и производство на одном устройстве
  • Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
  • Полностью автоматическая платформа
  • До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
  • До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
  • Измерение толщины пластины
  • Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Решение для временного сращивания пластин, для процессов 3D-интеграции в производстве логических устройств и устройств памяти.

Вам необходимо
Решения XBS300
Гибкость процесса
  • Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
  • Работает со всеми доступными адгезивами
  • Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
  • Разработка процесса и производство на одном устройстве
Производственные возможности
  • Полностью автоматическая платформа
  • До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
  • До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
  • Измерение толщины пластины
  • Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства
Низкие эксплуатационные затраты
  • Небольшое основание
  • Высокая пропускная способность
  • Отличная стабильность температуры и силы сращивания для обеспечения макс. производительности
  • Наращиваемая и модернизируемая архитектура

Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет следующее поколение решений для крупносерийного производства в области временного сращивания пластин. Платформу для работы с пластинами 200 / 300 мм можно конфигурировать для уменьшения эксплуатационных издержек и максимального увеличения гибкости процесса.


XBS300 поддерживает все ключевые шаги процессов временного сращивания: формирование разделительного слоя (нанесение и/или плазменное осаждение), адгезионное покрытие, сращивание пластин с низким усилием, УФ- или тепловое отверждение и охлаждение.   Благодаря гибкой конфигурации система XBS300 может обрабатывать все имеющиеся на рынке адгезивы для временного сращивания пластин.

Выбор поддерживаемых систем: Brewer Science ZoneBOND*, Dow Corning, Dow Electronic Materials, HD DuPont, Thin Materials (TMAT) и другие поставщики.


* Для использования технологии ZoneBOND требуется отдельное лицензионное соглашение между покупателем и компанией Brewer Science.

Модуль ввода/вывода (I/O)


К раме системы XBS300 можно напрямую подключить до 2 модулей загрузочных портов. С помощью отдельного модуля EFEM установку сращивания можно оснастить макс. 4 портами. Модули загрузочных портов имеют опцию картирования пластины и считывания идентификатора РЧ и способны обрабатывать стандартные устройства FOUP или FOSB 300 мм, а также пластины 200 мм и адаптеры кассет.

Интеграция в рабочий процесс


Система перемещения установки XBS300 основана на надежном высокоскоростном шестикоординатном роботе со встроенной опцией переворота пластины. Совмещение пластин осуществляется с помощью поворотной установки совмещения с камерой, которую можно сочетать с ID-считывателем.

Модуль нанесения методом центрифугирования


Suss XBS300 Спиральное распыление на модуле GYRSETПринцип GYRSET позволяет добиться однородного покрытия на пластинах 200/300 мм с минимальным расходом материала. Во время нанесения процесс вращения с закрытой крышкой создает уникальную безвихревую среду, которая эффективно препятствует загрязнению обратной стороны.




Спиральное распыление на модуле GYRSET для получения оптимальной однородности нанесения




Этажерочный модуль для рабочих камер, нагревательных и охлаждающих плит


Этажерочный модуль можно объединить с 4 рабочими камерами или с 7 кассетами охлаждающих или нагревательных плит. Рабочие камеры, нагревательные и охлаждающие плиты можно объединить в одном этажерочном модуле для выполнения требований процесса.

Встроенные измерения


Suss XBS300 станция измерения толщиныВстроенная станция измерения толщины состоит из 2 ультравысокоточных лазерных датчиков смещения, которые анализируют верхнюю и нижнюю поверхность пластины для расчета её толщины. Многоточечное измерение выполняется с помощью сканирования по площади пластины. Номера точек измерений для пластин со сформированными приборами, опорной подложки и сэндвича программируются с помощью ПО.
Общие характеристики
Размер подложки пластины 200 / 300 мм; совместимость с нестандартными подложками (201 / 301 мм) 
Загрузочный порт Полностью автоматический загрузочный порт FOUP, FOSB со встроенным считывателем идентификатора РЧ, адаптер кассет и пластин 200 мм
Перемещение пластин Шестикоординатный робот  со встроенной функцией переворота пластин, установка предварительного совмещения с камерой, дополнительный ID-считыватель для пластин
Пользовательский интерфейс ОС Windows XP с ПО SUSS MMC, сенсорный экран и клавиатура с указывающим устройством
Обработка подложек Полностью программируемое кластерное устройство с опциями производственной автоматизации
сертификаты Semi S2 и S8
SC300 – модуль нанесения
Основной модуль Запатентованный модуль нанесения GYRSET с держателем с закрытой крышкой
Контроль скорости вращения ± 1 об/мин с цифровым контроллером двигателя
Линий распыления до двух рук
до трех 3 линий для подачи адгезива с опцией контроля температуры адгезива для рук подачи адгезива

до трех линий проявителя для рук проявления (такие как подача растворителя, EBR и очистки держателя)
Опции широкий выбор насосов и систем распыления, удаление наплыва резиста с кромки и промывка обратной стороны, расходомеры
PL300T – Модуль плазменного осаждения
Основное устройство Вакуумная камера для процесса плазменного осаждения
Газы запатентованный газ TMAT, O2, до 2 чистящих газов
Газовые контроллеры 4 MFC
Источник плазмы внутренний генератор, 13.56 МГц
Настройка автоматическая
Контроль температуры держателя охлажденная вода
Доступ к камере VAT-дверца с продувкой N2
Этажерочный модуль - рабочая камера, нагревательная и охлаждающая плиты

Рабочая камера

Процессы сращивания Настройка A: ультранизкое усилие (на основе кремния и УФ-отверждаемых адгезивов)

Настройка Б: термокомпрессионное сращивание с низким усилием
Температура LF300 до 250 °C
Мин. базовый вакуум < 5 мбар
Вакуумирование < 60 сек
Сила сращивания (при 300мм)

Настройка A: 20 Н - 500 Н

Настройка B: 300 Н - 8 кН

Технологический газ Стандартно N2, дополнительно 1 MFC
Совмещение Межцентровое совмещение +/- 50 мкм Вращение бороздки 0.1°
Кол-во камер до 4 камер LF300 на модуль
Тип камеры Герметичная камера с вытяжкой N2

Нагревательная плита

Температура нагревательной плиты

до 250 °C

опция: до 350 °C

Стабильность температуры

± 0.4 °C до 120 °C

± 1 % > 120 °C

Способ спекания Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором

Охлаждающая плита

Температура охлаждающей плиты от 15 до 30 °C
Контроль температуры ± 0.2 °C
Способ охлаждения Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором
Измерения
Измерение толщины Лазерные датчики
Точность измерения < 0.2 мкм
Кол-во точек измерения Многоточечное, программируется
Опции
Очистка воздуха Фильтрующие блоки
Ионизаторы
Автономная чистая комната
Коммуникации
Вакуум мин. -0.8 бар, +/-5 %
Сжатый сухой воздух 8 бар, +/-10 %
Азот 8 бар, +/-10 %
Питание Зависит от конфигурации

Оборудование для полного цикла производства
SUSS ACS300 Gen2

SUSS ACS300 Gen2

SUSS ACS300 Gen2 – это модульная кластерная ...

SUSS MA300 Gen2

SUSS MA300 Gen2

Высокоавтоматизированная установка совмещения и ...

Suss XBC300 Gen2

Suss XBC300 Gen2

Платформа XBC300 Gen2 компании SUSS предназначена ...



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования suss xbs300


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования suss xbs300
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх