Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Платформа для временного сращивания пластин Suss XBS300

Германия
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет следующее поколение решений для крупносерийного производства в области временного сращивания пластин

Производитель: SUSS MicroTec
Страна производитель: Германия

Основные возможности:

  • Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
  • Работает со всеми доступными адгезивами
  • Разработка процесса и производство на одном устройстве
  • Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
  • Полностью автоматическая платформа
  • До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
  • До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
  • Измерение толщины пластины
  • Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Решение для временного сращивания пластин, для процессов 3D-интеграции в производстве логических устройств и устройств памяти.

Вам необходимо
Решения XBS300
Гибкость процесса
  • Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
  • Работает со всеми доступными адгезивами
  • Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
  • Разработка процесса и производство на одном устройстве
Производственные возможности
  • Полностью автоматическая платформа
  • До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
  • До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
  • Измерение толщины пластины
  • Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства
Низкие эксплуатационные затраты
  • Небольшое основание
  • Высокая пропускная способность
  • Отличная стабильность температуры и силы сращивания для обеспечения макс. производительности
  • Наращиваемая и модернизируемая архитектура

Платформа XBS300 от SUSS MicroTec представляет следующее поколение решений для крупносерийного производства в области временного сращивания пластин. Платформу для работы с пластинами 200 / 300 мм можно конфигурировать для уменьшения эксплуатационных издержек и максимального увеличения гибкости процесса.


XBS300 поддерживает все ключевые шаги процессов временного сращивания: формирование разделительного слоя (нанесение и/или плазменное осаждение), адгезионное покрытие, сращивание пластин с низким усилием, УФ- или тепловое отверждение и охлаждение.   Благодаря гибкой конфигурации система XBS300 может обрабатывать все имеющиеся на рынке адгезивы для временного сращивания пластин.

Выбор поддерживаемых систем: Brewer Science ZoneBOND*, Dow Corning, Dow Electronic Materials, HD DuPont, Thin Materials (TMAT) и другие поставщики.


* Для использования технологии ZoneBOND требуется отдельное лицензионное соглашение между покупателем и компанией Brewer Science.

Модуль ввода/вывода (I/O)


К раме системы XBS300 можно напрямую подключить до 2 модулей загрузочных портов. С помощью отдельного модуля EFEM установку сращивания можно оснастить макс. 4 портами. Модули загрузочных портов имеют опцию картирования пластины и считывания идентификатора РЧ и способны обрабатывать стандартные устройства FOUP или FOSB 300 мм, а также пластины 200 мм и адаптеры кассет.

Интеграция в рабочий процесс


Система перемещения установки XBS300 основана на надежном высокоскоростном шестикоординатном роботе со встроенной опцией переворота пластины. Совмещение пластин осуществляется с помощью поворотной установки совмещения с камерой, которую можно сочетать с ID-считывателем.

Модуль нанесения методом центрифугирования


Suss XBS300 Спиральное распыление на модуле GYRSETПринцип GYRSET позволяет добиться однородного покрытия на пластинах 200/300 мм с минимальным расходом материала. Во время нанесения процесс вращения с закрытой крышкой создает уникальную безвихревую среду, которая эффективно препятствует загрязнению обратной стороны.




Спиральное распыление на модуле GYRSET для получения оптимальной однородности нанесения




Этажерочный модуль для рабочих камер, нагревательных и охлаждающих плит


Этажерочный модуль можно объединить с 4 рабочими камерами или с 7 кассетами охлаждающих или нагревательных плит. Рабочие камеры, нагревательные и охлаждающие плиты можно объединить в одном этажерочном модуле для выполнения требований процесса.

Встроенные измерения


Suss XBS300 станция измерения толщиныВстроенная станция измерения толщины состоит из 2 ультравысокоточных лазерных датчиков смещения, которые анализируют верхнюю и нижнюю поверхность пластины для расчета её толщины. Многоточечное измерение выполняется с помощью сканирования по площади пластины. Номера точек измерений для пластин со сформированными приборами, опорной подложки и сэндвича программируются с помощью ПО.
Общие характеристики
Размер подложки пластины 200 / 300 мм; совместимость с нестандартными подложками (201 / 301 мм) 
Загрузочный порт Полностью автоматический загрузочный порт FOUP, FOSB со встроенным считывателем идентификатора РЧ, адаптер кассет и пластин 200 мм
Перемещение пластин Шестикоординатный робот  со встроенной функцией переворота пластин, установка предварительного совмещения с камерой, дополнительный ID-считыватель для пластин
Пользовательский интерфейс ОС Windows XP с ПО SUSS MMC, сенсорный экран и клавиатура с указывающим устройством
Обработка подложек Полностью программируемое кластерное устройство с опциями производственной автоматизации
сертификаты Semi S2 и S8
SC300 – модуль нанесения
Основной модуль Запатентованный модуль нанесения GYRSET с держателем с закрытой крышкой
Контроль скорости вращения ± 1 об/мин с цифровым контроллером двигателя
Линий распыления до двух рук
до трех 3 линий для подачи адгезива с опцией контроля температуры адгезива для рук подачи адгезива

до трех линий проявителя для рук проявления (такие как подача растворителя, EBR и очистки держателя)
Опции широкий выбор насосов и систем распыления, удаление наплыва резиста с кромки и промывка обратной стороны, расходомеры
PL300T – Модуль плазменного осаждения
Основное устройство Вакуумная камера для процесса плазменного осаждения
Газы запатентованный газ TMAT, O2, до 2 чистящих газов
Газовые контроллеры 4 MFC
Источник плазмы внутренний генератор, 13.56 МГц
Настройка автоматическая
Контроль температуры держателя охлажденная вода
Доступ к камере VAT-дверца с продувкой N2
Этажерочный модуль - рабочая камера, нагревательная и охлаждающая плиты

Рабочая камера

Процессы сращивания Настройка A: ультранизкое усилие (на основе кремния и УФ-отверждаемых адгезивов)

Настройка Б: термокомпрессионное сращивание с низким усилием
Температура LF300 до 250 °C
Мин. базовый вакуум < 5 мбар
Вакуумирование < 60 сек
Сила сращивания (при 300мм)

Настройка A: 20 Н - 500 Н

Настройка B: 300 Н - 8 кН

Технологический газ Стандартно N2, дополнительно 1 MFC
Совмещение Межцентровое совмещение +/- 50 мкм Вращение бороздки 0.1°
Кол-во камер до 4 камер LF300 на модуль
Тип камеры Герметичная камера с вытяжкой N2

Нагревательная плита

Температура нагревательной плиты

до 250 °C

опция: до 350 °C

Стабильность температуры

± 0.4 °C до 120 °C

± 1 % > 120 °C

Способ спекания Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором

Охлаждающая плита

Температура охлаждающей плиты от 15 до 30 °C
Контроль температуры ± 0.2 °C
Способ охлаждения Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором
Измерения
Измерение толщины Лазерные датчики
Точность измерения < 0.2 мкм
Кол-во точек измерения Многоточечное, программируется
Опции
Очистка воздуха Фильтрующие блоки
Ионизаторы
Автономная чистая комната
Коммуникации
Вакуум мин. -0.8 бар, +/-5 %
Сжатый сухой воздух 8 бар, +/-10 %
Азот 8 бар, +/-10 %
Питание Зависит от конфигурации

Оборудование для полного цикла производства
SUSS ACS300 Gen2

SUSS ACS300 Gen2

SUSS ACS300 Gen2 – это модульная кластерная ...

SUSS MA300 Gen2

SUSS MA300 Gen2

Высокоавтоматизированная установка совмещения и ...

Suss XBC300 Gen2

Suss XBC300 Gen2

Платформа XBC300 Gen2 компании SUSS предназначена ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх