Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (LRD-250)

Швейцария
  • картинка

Удобная установка для проявления, позволяющая производить проявление полупроводниковых пластин и вымывание резиста путем налива проявляющей жидкости различными типами струй

В результате обновления линейки оборудования Sawatec, взамен популярной LRD-250 с марта 2016 года поставляется SMD-200

Производитель: Sawatec
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Сенсорный дисплей
  • До 50 рецептов по 24 шага в каждом
  • Закрытая чаша для проявления
  • Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
  • Возможность подогрева проявителя
  • Подающая рука с электрическим приводом
  • До 4 подающих линий под разные проявители
  • На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
  • Механический зажим подложек
  • Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
  • Два варианта - в напольном столике или для встраивания

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Проявление экспонированного фоторезиста является одним из наиболее важных этапов, поэтому необходимо уделить особое внимание выбору процесса проявления и его параметров (температура, длительность и т. д.). Модули проявления SAWATEC могут использоваться для проявления наливом или спреем, выбор оптимального процесса производится на основании технических и экономических критериев применения.

В модуле проводится индивидуальная обработка каждой подложки спреем, на экспонированные области постоянно наносится свежий проявляющий агент, чтобы избежать насыщения проявителя. Преимуществом спреевого проявления по сравнению с проявлением наливом заключается в том, что можно отделить структуры очень маленького размера и значительно уменьшить количество проявляющего раствора.

Системы серии SMD предназначены для отмывки и проявления полупроводниковых пластин размером до 8 дюймов и подложек размером до 6х6 дюймов (150х150 мм). Рабочая камера способна вместить полупроводниковые пластины и подложки диаметром до 212 мм.

Системы проявления SMD от SAWATEC являются оптимальным выбором благодаря высокой производительности, низкому расходу материалов, а также надежной воспроизводимости процессов даже на толстых слоях фоторезиста. Благодаря доступному и понятному интерфейсу и простому процессу чистки данные инструменты идеально подходят для лабораторий, научно-исследовательских институтов и пилотных проектов.

Система доступна в качестве встраиваемого или отдельно стоящего модуля.

Характеристики (базовая конфигурация)

Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200.jpg
 

Система проявления фоторезиста Sawatec SMD200.jpg
  • До 50 программ с 24 программируемыми шагами в каждой
  • Функция быстрого запуска для повторных процессов
  • Простая и доступная конфигурация с помощью сенсорной панели
  • Технологические параметры: скорость, ускорение, время обработки, скорость распыляющей руки, время спреевого проявления.
  • Рука с электроприводом с динамической или статической функцией.
  • В комплект входит линия подачи проявителя и резервуар для материалов для одной системы проявления.
  • Сопло для промывки деионизированной водой и сушки азотом на подающей руке.
  • Управляющие элементы для дозирования сжатого воздуха и вакуума.
  • Возможность выбора направления вращения (по часовой стрелке, против часовой стрелки)
  • Загрузка и разгрузка подложек вручную
  • Механическая фиксация подложек
  • Звуковой сигнал после завершения обработки

Параметры

  • Скорость: от 0 до 3 000 об/мин +/-1 об/мин 1)
  • Ускорение: от 0 до 5 000 об/мин за 0,5 сек 1)
  • Время обработки до 2376 секунд
  • Продолжительность дозирования 99 сек/сегмент
  • Скорость подающей руки от 10 до 200 мм/сек
  • Промывка и сушка азотом 99 сек/сегмент
  • Нагреваемый купол до 50°C
  • Сопло из PEEK 0,8 мм
*1 Для обработки рекомендуется меньшая скорость и ускорение

Дополнительные функции (опции)

  • Дополнительные линии проявления (до 4 линий проявителя)
  • Ножной переключатель пуск/стоп для простоты эксплуатации (длина кабеля 1,8 м).
  • Сепарационная установка для отведения отработанных материалов (резервуар и лабораторное оборудование)
  • Система нагрева резервуара проявителя (2 литра)
  • Сопло из PEEK (0,3/0,5 мм)

Диапазон вращения держателя


Центробежные держатели доступны в разных размерах, материалах и конструкция для оптимального процесса проявления. В зависимости от случая применения используются механические или комбинированные держатели. Замена держателя производится очень быстро и не требует никаких инструментов.

Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200.jpg
  • Механический держатель от 100 мм (4 дюйма) до 200 мм (8 дюймов) из POM.
  • Механический держатель 125x125 мм (5x5”) из POM
  • Механический комбинированный держатель из РОМ для маленьких и больших подложек
  • Держатели специальной конструкции под заказ

Конструкция и размеры

  • Мобильный шкаф из электрополированной нержавеющей стали
  • Чаша из полипропилена для высокой совместимости материалов
  • Закрытая технологическая камера для безопасности процесса
  • Стеклянная передняя дверца для наблюдения за процессом
  • Динамический серводвигатель переменного тока для точности скорости
  • Размер шкафа: 850 x 750 x 2333 мм (Д x Ш x В)
  • Размеры встраиваемой версии: 484 x 400 x 847 мм (Д x Ш x В)
  • Вес прим. 240 кг

Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (LRD-250).png
  Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200.png
  Шкаф     Встраиваемая версия (BM)

Коммуникации

Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200. Коммуникации.png
  • 230 В переменного тока 50/60 Гц 16A
  • Штепсельный разъем для ножного переключателя
  • Сжатый воздух, трубка Ø6/4 мм (6 бар)
  • Азот, трубка Ø6/4 мм (6 бар)
  • ДИ-вода трубка Ø6/4 мм (6 бар)
  • Разъем вытяжки, шкаф Ø76 мм (40–60 м3/ч)


Прохождение процесса на установке Sawatec LRD-250
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх