Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Установка спреевого нанесения резиста Sawatec iSpray-300

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинка

Установка спреевого нанесения iSpray-300. Нанесение фоторезистов пневматическим распылением для структур с высокой топологией и МЭМС

Производитель: Sawatec
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • рука с приводом по осям X и Y
  • программная обработка квадратных/круглых подложек
  • размер подложек до 300х300 мм
  • регулировка пятна распыления
  • опционально нагревательный стол (до 150 С) с вращением (до 6000 об/мин) или без него

Инжиниринговые услуги:

Вакуумные насосы

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Установка нанесения фоторезиста спреем SAWATEC iSpray-300 идеальный инструмент с ручной загрузкой, особенно в НИОКР-подразделениях и небольших производствах МЭМС. Система позволяет наносить фоторезист на поверхность глубокой развитой топологии. Специальная форсунка гарантирует минимальные размеры капли резиста, обеспечивая однородное покрытие по всей площади подложки.
Для круглых подложек до 300 мм (максимально) и квадратных подложек 12 x 12 дюймов.

Основные возможности:


  • Процесс контроллер с сенсорной монохромной панелью 3,5 дюйма
  • Задаваемые параметры: Поз. X; Y; время (сек.), время распыления (сек.), скорость по X и Y координатам
  • Запуск процесса нажатием клавиши "старт" или через сенсорную панель управляющего ПО
  • До 50 рецептов (зависит от размера каждого рецепта)
  • До 24 шагов в каждом рецепте
  • Внутренняя рабочая камера с габаритами 400x400 мм
  • Закрытая рабочая зона
  • Электр. управляемая рука с форсункой, с возможностью выбора скорости по X и Y
  • Выбор геометрии рецепта: круглые и квадратные подложки
  • Форсунка Micro 3 (0,3 мм Форсунка)
  • Контроллеры управления сжатым воздухом и вакуумом
  • Загрузка подложек: ручная

Доступные опции:


  • Нагреваемый стол до 150°C
  • Центрифуга со скоростью вращения до 6'000 об/мин.
  • Центрифуга с нагреваемым столом, скорость вращения до 1'500 об/мин. и нагрев до 150°C
Установку можно сконфигурировать для одной подложки с различными столами:

  1. Обычный стол
  2. Стол с центрифугой. Это позволяет распылять не только по X и Y, но и в любом направлении.
  3. Стол с центрифугой и нагревом. Это позволяет и распылять, и сушить за один цикл.






Геометрия перемещения распыления:

ispray_300_moving.png

Основные функции:


 Область распыления:                   400x400 mm
 Объем распыления:                    Прибл. 100 мл для одного цикла
 Вязкость резиста:                   0.3 to 25cSt (μPas)
 Сопло:                    Размер капли >7 микрон
Управление:                   
                  Контроллер с сенсорной панелью.
                  До 50 рецептов с 24 шагами в каждом. 


Требования к подключению:

 Электричество:  230 VAC 50/60Hz, 10A
 N2 для распыления:  Ø 6/4mm
 Сжатый воздух:  Ø 6/4mm (6 bar)
 Подключение вытяжки:  Ø 125mm (260m3/h)
 Температура окружающего воздуха:  +4 ... +60°C


Размеры и вес:

85x75x221cm (Ш/Д/В)
220 кг

Дизайн:

 Корпус:       Рама из нержавеющей стали
 Рабочая чаша:       Нержавеющая сталь
 Двери:       Стекло для наблюдения за процессом


Габариты:


   ispray_300_size.png           
                                              

Процесс нанесения фоторезиста на установке Sawatec iSpray-300
Оборудование для полного цикла производства
Sawatec HP 150

Sawatec HP 150

Небольшие температурные камеры в базовой ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх