Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Radiance BPM

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинкакартинка

Универсальная кластерная система

Система BPM может конфигурироваться шестью различными процессными модулями: магнетронное напыление на постоянном токе (DC), магнетронное напыление на ВЧ токе (RF), комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением, дегазация и мягкое травление

Производитель: Evatec
Страна производитель: Швейцария
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Работа с подложками до 300 мм
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
  • Подвод до 4 технологических газов к одному процессному модулю
  • Нагрев (до 500°С), охлаждение и вращение подложек во время процесса
  • Возможность установки системы оптического контроля для отслеживания оптических свойств растущей пленки
  • Быстрый и удобный доступ к каждому модулю и ко всей камере
  • Регулируемое расстояние от распыляемой мишени до подложки (до 135 мм)
  • Несколько установок Radiance BPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance SPM в одну производственную линию
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовки
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Оборудование для полного цикла производства
Evatec Clusterline SPM

Evatec Clusterline SPM

Универсальная кластерная система. Система ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх