Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Clusterline SPM

Швейцария
  • картинка
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинкакартинка

Универсальная кластерная система.

Система Clusterline SPM представляет собой самостоятельный процессный модуль (Single Process Module) кластерной системы Radiance BPM, который может функционировать как отдельно взятая установка, так и в составе кластерной линии. В качестве единичного процессного модуля могут выступать: магнетроны на постоянном токе (DC), магнетроны на ВЧ токе (RF) (комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением), модуль PECVD, модуль ICP - CVD, модуль RIE

Производитель: Evatec
Страна производитель: Швейцария
Возможность двухэтапной приемки
на заводе производителе

Основные возможности:

  • Работа с подложками до 300 мм
  • Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
  • Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
  • Подвод до 8 технологических газов
  • Нагрев (до 800°С), охлаждение (до -25°С)
  • Возможность измерения напряжения на тонких подложках, чувствительных к температуре
  • Быстрый и удобный доступ к модулю
  • Независимая система откачки
  • Несколько установок Radiance SPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance BPM в одну производственную линию
  • ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.

Инжиниринговые услуги:

Газовая обвязкаСистема бесперебойного электропитанияСистемы хранения и резервирования данныхСтанция водоподготовки
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Оборудование для полного цикла производства
Evatec Radiance BPM

Evatec Radiance BPM

Универсальная кластерная система Система BPM ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх