|
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Зондовая станция TS 300
Зондовая станция TS 300 предназначена для точных и воспроизводимых измерений постоянных (DC/CV), высокочастотных (RF) сигналов и сигналов большой мощности (High Power). Станция имеет широкие возможности применения для таких нужд, как снятие характеристик и моделирование устройств, оценка надежности кристаллов на подложке, анализ дефектов технологии ИС, МЭМС и измерения высокой мощности.
Страна-производитель: Россия
Основные возможности:
- Эргономичный дизайн позволяет быстро позиционировать образец при помощи ручного пантографа.
- Устойчивая плита, допускающая установку до 10 DC или 4 RF-позиционеров
- Воспроизводимый дизайн подъемника плиты с 3 отдельными режимами: для загрузки образца, контакта с образцом и промежуточный
- Антивибрационная платформа в комплекте
- Русскоязычное ПО
- Возможность использования дополнительного навешиваемого на микроскоп оборудования при помощи жесткого моста для микроскопа
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
|
Функции и преимущества Платформа с пневматическим подшипником Уникальная конструкция платформы с пневматическим подшипником обладает простым передвижным приспособлением, управляемым одной рукой. Это позволяет осуществлять быстрое перемещение по осям XY и загружать пластину без ухудшения высокопрецизионного позиционирования. Дополнительное высокоточное перемещение осуществляется с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta) с шагом 25 x 25 мм. |
|
Уникальный механизм подъема платформы Точность измерений зависит, прежде всего, от качества контакта! Конструкция механизма подъема платформы с высокой степенью повторяемости (1µm) имеет три раздельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 µm) и загрузки (3 мм) с безопасным запорным приспособлением. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или пластины, обеспечивая интуитивное управление и точное размещение контакта. Особенно эта функция важна для высокочастотных измерений и измерений с высокой мощностью. |
|
Регулировочная шкала по высоте Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 25 мм и требуется для поддержки различных измерений. Уникальная шкала с точностью 1 мм обеспечивает наглядность текущего положение платформы. |
|
Компактная и жесткая конструкция платформы Компактная и жесткая конструкция платформы обеспечивает размещение до десяти микропозиционеров для измерений на постоянном токе и до четырех высокочастотных. |
|
Различные держатели пластин Предлагаются ручные станции с различными техническими решениями держателей пластин. Компания ТБС предлагает коаксиальные, триаксиальные и различные термические держатели пластин для выполнения температурных измерений в диапазоне до 300°C. |
|
Дополнительные держатели (для калибровочных пластин) В комплекте с высокочастотными держателями пластин входят два дополнительных держателя, встроенные в керамический материал для размещения калибровочных пластин |
|
Выбор различных микроскопов и типов перемещений микроскопов Предлагается большой ассортимент микроскопов и типов перемещений. Стереоскопический микроскоп для выполнения измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Монокулярные микроскопы SZ10 или MZ12 для ВЧ конфигураций. Имеются в наличии высокомощные оптические устройства, например, Mitutoyo FS70 или Motic PSM-1000, для приложений, выполняющих анализ отказов. |
|
Откидывание микроскопа Откидывание микроскопа на 90 градусов, стандартная опция для ручных зондовых станций так же, как и перемещение микроскопа при помощи пневматического подшипника и линейный подъем микроскопа по оси Z. Эти опции позволяют легко устанавливать и менять ВЧ головки. |
|
Антивибрационная платформа В состав всех ручных систем входит антивибрационное основание для достижения стабильного и устойчивого длительного контакта между зондом и подложкой, обеспечивая, таким образом, надежные результаты измерений. Антивибрационная платформа или антивибрационный стол являются дополнительными приспособлениями для лабораторий, где требуется всесторонняя защита от вибраций и заказываются отдельно. |
|
Светоизоляционный корпус Предлагаемый светоизоляционный корпус обеспечивает защиту от электромагнитных излучений и светонепроницаемые условия проведения испытаний для сверхмалошумных измерений на постоянном токе. |
Станции TS300 просты в использовании. Предназначены для прецизионного анализа подложек и полупроводниковых пластин размером до 300 мм. Данные станции подходят для решения самых различных задач, включая анализ отказов, проверку параметров структур на этапе проектирования интегральных схем, микроэлектромеханических систем (MEMS), а так же определение характеристик и моделирование устройств высокой мощности
Зондовые головки
Микропозиционер MP25
Микропозиционер MP40
Микропозиционер MP50
Микропозиционер MP60
Микропозиционер MP60-MR
Микропозиционер MP80
Микропозиционер MP80-DXОбзор зондовых станций TS150, TS200
Платформа на пневматическом подшипнике.
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI SuperZoom SZ10
Возможности увеличения Монокулярного микроскопа MPI MPI MegaZoom SZ12.
Оборудование для полного цикла производства
...
...
Рекомендуем к прочтению
495 287 8577
infos@tbs-semi.ru
Найти на карте