Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
В Дзержинске запущены системы плазмохимической обработки и фотолитографии
Новости компании 04/12/2017 12:00Инженеры компании ТБС, запустили в эксплуатацию 2 системы плазмохимии и 3 системы фотолитографии на производстве компании МеЛСиТек (г. Дзержинск, Нижегородская обл.).
МеЛСиТек – международный разработчик, производитель и поставщик лазерных систем промышленного и медицинского назначения.
- Система индуктивно совмещенной плазмы с вакуумным шлюзом Corial 210iL
- Система осаждения диэлектриков Corial D250
![Corial_02-min.jpg Corial_02-min.jpg](/upload/medialibrary/186/186bc002df1b056b05518b86344b7e6d.jpg)
![Corial_03-min.jpg Corial_03-min.jpg](/upload/medialibrary/74d/74d9cfdb8bbe026e403e64d9b1310db9.jpg)
![Corial_04-min.jpg Corial_04-min.jpg](/upload/medialibrary/aee/aee55920c2c67ec46755f0e0e2d9d730.jpg)
Французское оборудование установлено при участии официального представителя компании Corial
в России, Жосслена Фузье.
- Установка совмещения и экспонирования SUSS MA/BA6
- Установка нанесения и задубливания фоторезиста SAWATEC SM200/HP200
- Установка проявления фоторезиста SAWATEC SMD-200 методом центрифигурирования