Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, ул. Киевская, д.7

Система травления в парах плавиковой кислоты Idonus VPE

Швейцария
  • картинка

Системы травления в парах плавиковой (фтороводородной) кислоты, компании Idonus. Система превосходно приспособлена для поверхностной микромеханики, изготовления МЭМС КНИ, химической резки пластин, утонения и многих других приложений

Производитель: Idonus
Страна производитель: Швейцария

Основные возможности:

  • Безопасная работа с кислотой
  • Возможность повторного использования кислоты
  • Простой механизм фиксации пластин
  • Идеальна для любого размера пластин
  • Защита задней стороны пластины
  • Низкая стоимость

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Установка VPE предназначена для травления жертвенных слоев оксида кремния на пластинах в парах фтороводородной кислоты, используется в производстве полупроводниковых приборов.


Фторводородная кислота - это идеальный травитель для все типов оксида кремния, используемый в микрообработке. Широко применяется благодаря высокой скорости травления и высокой избирательности в отношении к кремнию. Типично применение систем травления в плавиковой кислоте является удаление жертвенных оксидных слоев в производстве МЭМС. Однако, что характерно для жидкофазного травителя, есть высокий риск прилипания к подложке подвижных структур из-за эффекта поверхностного натяжения.


Компания Idonus решила эту проблему, системы травления Idonus работают в паровой фазе. Система травления в парах фтороводородной кислоты превосходно приспособлена для поверхностной микромеханики, изготовления МЭМС КНИ, химической резки пластин, утонения и многих других приложений.


Травления в парах плавиковой кислоты - это практически сухой процесс. Нагревая пластину можно контролировать скорость травления. Т.к. пластины не контактирует с жидкостью становиться возможным отделение отдельных элементов МЭМС. Стандартная скорость травления 4-10 микрон/час.


Система доступна в различных версиях, для обработки пластин различного диаметра 4", 6" и 8".


                                            
До травления:
100 мм кремниевая
пластина со слоем термического оксида 1 микрон.
После 25 минут:
Внутренняя часть
имеет цветовую индикацию
гомогенности травления 
После 30 минут:
Часть оксида стравилось. 
После 35 минут:
Вес оксид был стравлен с 80% диаметра пластины 


Описание установки.



Установка HF VPE состоит из реакционной камеры и держателя пластин. Нагревательный элемент встроен в держатель пластин. Он контролирует температуру поверхности изделия, подвергаемого травлению. Фиксацию пластин можно осуществить двумя способами:
Пластины можно зафиксировать механически при помощи зажимного кольца. Винтовое соединение расположено на задней стенке установки, которая никогда не попадает в прямой контакт с парами кислоты. Три гайки завинчиваются легко даже в защитных перчатках.
Второй способ - это электростатическая фиксация. На нагревательном элементе могут фиксироваться отдельные чипы (больше 5x5 мм2), а также пластины. Большая площадь тыльной стороны пластины защищена от травления.
Жидкая кислота заливается в реакционную камеру. Реакционная камера закрывается держателем пластин. Кислота испаряется при комнатной температуре, процесс травления начинается самопроизвольно. Ход травления контролируется температурой пластины, которая может быть задана в диапазоне от 35°C до 60 °C.
По завершению процесса кислоту можно хранить для повторного использования в герметизирующемся контейнере. Переливание жидкости осуществляется очень просто - посредством опускания присоединенного резервуара при помощи ручки. Под действием силы тяготения кислота переливается в резервуар и закрывается клапаном. Повторное наполнение кислотой производится путем открывания клапана и поднятия ручки. Кислота перетекает в реакционную камеру. Кислота может быть использована для травления многократно, пока не возникнет необходимость ее замены.




     
Фиксирующее кольцо механическое. Держатель пластин с механическим зажимом для фиксации 100 мм пластин, Пластина фиксируется 6 клипсами для увеличения области травления Система травления в парах кислоты.
Система травления в работе.


Применение установки.

Отделение элементво МЕМС 
- Утонение структур
- Химическая резка структур на КНИ подложке 
- Травление переднего слоя SiO2 (задний слой защищен во время процесса)


Особенности:
Регулируемая скорость травления от 0 до 10 микрон/час

   
Структура кремния на КНИ подложке.
Отделение SiO2 точно контролируется. 
 
Изготовление МЕМС.  


 
Электростатический держатель пластин
Такой держатель является чрезвычайно полезным в НИОКР, где работа над целой пластиной не всегда возможна. Электростатическое крепление чипов подходит для процессов скрайбирования МЭМС до травления в парах в плавикой кислоте. Изменяя классическую последовательность изготовления МЭМС, становиться возможным изготовить МЭМС с очень мягкой подвеской.
Использовать электростатический держатель очень просто. Чипы располагают на поверхности держателя пластин, при включении пультом управления, электростатическая сила прижимает чипы. Сила электростатического прижима может быть скорректирована. 
 

Защитное кольцо и Кольцо адаптер для держателя пластин


Защитное кольцо помещается на рабочую камеру, защищая от паров кислоты. Сетка кольца улавливает отделенные кислотой детали, не прикрепленные к ручке. Пары кислоты конденсируются на сетке. Не прикасайтесь к ней без защиты.

  Адаптер для держателя пластин используется для работы с маленькими пластинами, такой адаптер можно использовать для держателя пластин на 150 и 200 мм.

Оборудование для полного цикла производства
Idonus ИК микроскоп

Idonus ИК микроскоп

ИК Микроскоп оснащен объективом с большой ...

Idonus WBI

Idonus WBI

Установка инспекции пластин в ИК-свете WBI ...

Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх