Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Высокоточная система нанесения от фирмы SUSS
Точное нанесение фоторезиста является одним из ключевых шагов в процессах фотолитографии. Помимо основных критериев, таких как безпузырьковое распыление, равномерность нанесения зависит также от точности и скорости потока. До недавнего времени высокоточное распыление могли обеспечить только системы с поршневыми насосами. Однако компания SUSS Microtec представила нагнетательную систему распыления, которая готова занять эту нишу.
Воспроизводимость объема распыления ± 1 % (3 σ) и точность ± 2 % достигается с помощью высокотехнологичных инструментов контроля и мониторинга. Более того, датчик потока, расположенный в максимально удаленной точке, позволяет отслеживать фактическую скорость потока для точного управления системой. Программно реализованные алгоритмы являются основой функционирования системы, которую можно использовать для распыления реагентов вязкостью от 1 сПз до 10 000 сПз.
Точность высокопроизводительного насоса, изготовленного из стандартных деталей
Использование интеллектуальных датчиков в критически важных точках в сочетании с оптимизированными алгоритмами контроля обеспечивает превосходную производительность системы.
- Датчик потока: измерение в точке распыления.
- Датчик образования пузырьков: располагается в месте, где остается достаточно резиста для завершения текущего нанесения. В следующем шаге пузыри можно выдуть наружу без повреждения пластины.
- Уменьшение размера трубки по ходу линии приводит к большей устойчивости к образованию пузырьков.
- Использование меньшего давления (<1 бар) для получения необходимого потока. По сравнению с другими насосами, для которых требуется давление до 5 бар.
На рисунке 1 представлена производительность системы нанесения фоторезиста компании SUSS в сравнении с другими системами, доступными и популярными на рынке.
![Сравнение системы распыления SUSS и других систем на рынке Сравнение системы распыления SUSS и других систем на рынке.jpg](/upload/medialibrary/09f/09f9604179d182fd4610b1a04def733a.jpg)
Рис. 1. Сравнение системы распыления SUSS и других систем на рынке
![Снимок экрана управляющей программы с изображением зависимости скорости потока от времени Снимок экрана управляющей программы с изображением зависимости скорости потока от времени.jpg](/upload/medialibrary/897/897309daa831b9f4cb35ddbf49b065cf.jpg)
Рис. 2 Снимок экрана управляющей программы с изображением зависимости скорости потока от времени
![Различные фазы нанесения на форсунке Различные фазы нанесения на форсунке](/upload/medialibrary/c70/c70924630aff1b89945c70320f00fa80.jpg)
Рис. 3 Различные фазы нанесения на форсунке – корреляцию см. на Рис.2
![Различные фазы нанесения на форсунке Различные фазы нанесения на форсунке.jpg](/upload/medialibrary/0de/0de426cc51a01086323953d6172b6cce.jpg)
Регистрация данных потока
Система отслеживает и регистрирует каждое нанесение в режиме реального времени. На рисунке 2 изображен снимок экрана управляющей программы, на котором отмечены и описаны различные фазы нанесения.На рисунке 2 представлены различные фазы стандартного процесса нанесения, который разделен на 5 шагов:
- Начало – объем обратного отсоса выталкивается практически одновременно с наращиванием потока нанесения. Это гарантирует, что никакие факторы не повлияют на точность нанесения.
- и 3 Непрерывный поток – на рисунке изображен постоянный поток в течение периода нанесения.
- Конец нанесения – снижение скорости потока, закрытие клапана распыления. Как видно на изображении, перед последним шагом на форсунке висит небольшая капля резиста.
- После обратного отсоса – активация клапана обратного отсоса затягивает каплю резиста обратно в линию.
![Наложение 10 графиков нанесения Наложение 10 графиков нанесения.jpg](/upload/medialibrary/a6d/a6d8eb8daaf03aa1591d8d5cc8bc369a.jpg)
Рис. 4 Наложение 10 графиков нанесения
Скорость и объем обратного отсоса настраиваются в программе, которая помогает оптимизировать процесс нанесения под различные требования или вязкость материалов. Все это позволяет оценить точность контроля и управления системы нанесения SUSS.
Наложение нескольких графиков нанесения на Рис.4 демонстрирует воспроизводимость результатов и стабильность системы.
Адаптивность системы (изменения температуры и вязкости)
Система нанесения фоторезиста SUSS нечувствительна к изменениям температуры и вязкости. Точность системы остается в нормативных пределах даже при существенном изменении температуры. Благодаря этому система меньше зависит от температурно-регулируемых условий, что снижает эксплуатационные расходы.
![Оптимизация для получения нанесения по типу прямоугольной волны Оптимизация для получения нанесения по типу прямоугольной волны.jpg](/upload/medialibrary/ec0/ec017e97a2314e6252372b6a6da8f135.jpg)
Рис. 5 (1) Оптимизация для получения нанесения по типу прямоугольной волны
![Оптимизация для получения выброса в начале и в конце нанесения.jpg Оптимизация для получения выброса в начале и в конце нанесения.jpg](/upload/medialibrary/d46/d464cb924a654ea5be4264a532f04f81.jpg)
Рис. 5 (2) Оптимизация для получения выброса в начале и в конце нанесения
![Оптимизация для получения замедленного начала и конца процесса.jpg Оптимизация для получения замедленного начала и конца процесса.jpg](/upload/medialibrary/fb5/fb5354a99a0716e7b41f14432352384b.jpg)
Рис. 5 (3) Оптимизация для получения замедленного начала и конца процесса
Полный контроль нанесения (настройка начала и завершения):
Поскольку для процессов могут требоваться различные условия потока, система нанесения SUSS предлагает множество вариаций и позволяет оптимизировать профиль нанесения. Пользователь может быть уверен, что процесс соответствует конкретным требования, и система функционирует стабильно.На Рис. 5 представлено общее описание возможных изменений характеристик нанесения.
Рис. 5 (1): Нанесение в форме числового квадрата.
Рис. 5 (2): Нанесение с пиком в начале и в конце. Кривую пика можно также оптимизировать в соответствии с требованиями процесса.
Рис. 5 (3): Нанесение со сглаженным началом и завершением процесса.
![Результаты Результаты.jpg](/upload/medialibrary/c1c/c1cde5847017603936f81b4c756fa863.jpg)
![Результаты Результаты.jpg](/upload/medialibrary/5fb/5fb5f98815d07324d2e27a28a4572e69.jpg)
Рис. 6 Результаты