Suss XB8 - Бондер для пластин

Высокоточный универсальный бондер для пластин 4, 6, 8 дюймов для сращивая пластин из металлов и других материалов с роботизированной загрузкой пластин

Производитель: SUSS MicroTec

Страна-производитель: Германия

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Размеры подложек 100 мм, 150 мм, 200 мм, кусочки
Сила прижатия до 100 кН, температура до 550° С
Высокая стабильность поддержания температуры
Давление в камере от 5x10-5 мбар до 3 мбар абс
Большая вариативность инструментов для различных применений
Быстрый нагрев и активное охлаждение для высокой производительности
Высокий уровень автоматизации процессов

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание
Спецификации

Бондер XB8 был создан для различных процессов бондинга и поддерживает размеры пластин до 200 мм. Все параметры процессов могут быть гибко изменены под задачи пользователя, что делает систему идеальной для использования в области исследований. В производстве высокий уровень автоматизации и продуманный дизайн обеспечивает высокий уровень производительности и стабильности. Все это делает бондер XB8 идеальным для процессов МЭМС, гибридизации, 3D интеграции и LED.

Преимущества установки бондинга:

Точность бондинга менее 1 микрона

Полная совместимость процессов на различных машинах

Независимые нагреватели сверху и снизу компенсируют терморазбег и увеличивают точность бондинга

Активное охлаждение и быстрый нагрев сокращают время процесса

Контролируемая атмосфера в камере (давление до 8 кН и/или вакуум)

Обрабатывает подложки до 200 мм и толщину"бутерброда" до 6 мм

Для различных типов бондинга используется одна камера

Опционально склейка трех слоев одновременно

Рисунок: /upload/oborudovanie/bonding/sb6l-sb8l/CB6L_bondhead.jpg

Бондинг стеклянной фритты при 435°С и 415°С

Конечный продукт

Пост-бондинговая точность менее 1 микрона. Достигнуто при предварительной фиксации подложек лазером (опция лазерного предсовмещения)

Общие характеристики
Размер подложки	100 мм, 150 мм, 200 мм, кусочки
Контроль температуры
Конструкция нагревателя	Независимый резистивный керамический нагреватель с активным охлаждением воздуха и опционально многозонным нагревателем
Максимальная температура	До 550 °C
Стабильность температуры	± 1.5 %
Воспроизводимость температуры	± 3 °C
Макс. скорость нагрева	до 40 K/мин
Макс. скорость охлаждения	до 40 K/мин
Сила сцепления
Макс. сила сцепления	60 kН или 100 kН
Воспроизводимость силы сцепл.	± 2 %
Графический интерфейс пользователя
ОС на базе MS Windows
Неограниченное хранилище рецептов (ограничено только размером жесткого диска)
Плоскоэкранный дисплей с клавиатурой и шаровым манипулятором
Рабочая камера
Мин. давление	5x10^-5 мбар после 5 мин. закачки
Макс. давление	Избыточное давление 2 бар (3 бар абс)
Конструкция чаши	Камера из электрополированной нержавеющей стали класса 1 с клиновой задвижкой
Подача материалов
Вакуум	<100 мбар абс.
Сжатый воздух	6-7 бар (сжатый сухой воздух)
Азот	5-6 бар
Требования к питанию	208//400 VAC, 60/50 Гц; 50/30 A; 4200 Вт
Вытяжка	600 стандартных литров/мин
Габариты
Высота x ширина x глубина	1469 мм / 778 мм / 1710 мм
Вес	700 кг