Мы на карте
Для получения информации оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Оборудование Компоненты Сервис
Москва, Киевская, 7

Suss XB8 - Бондер для пластин

Германия
  • картинка
  • картинка
  • картинка
картинкакартинкакартинка

Высокоточный универсальный бондер для пластин 4, 6, 8 дюймов для сращивая пластин из металлов и других материалов с роботизированной загрузкой пластин

Производитель: SUSS MicroTec
Страна-производитель: Германия

Основные возможности:

  • Размеры подложек 100 мм, 150 мм, 200 мм, кусочки
  • Сила прижатия до 100 кН, температура до 550° С
  • Высокая стабильность поддержания температуры
  • Давление в камере от 5x10-5 мбар до 3 мбар абс
  • Большая вариативность инструментов для различных применений
  • Быстрый нагрев и активное охлаждение для высокой производительности
  • Высокий уровень автоматизации процессов

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Бондер XB8 был создан для различных процессов бондинга и поддерживает размеры пластин до 200 мм. Все параметры процессов могут быть гибко изменены под задачи пользователя, что делает систему идеальной для использования в области исследований. В производстве высокий уровень автоматизации и продуманный дизайн обеспечивает высокий уровень производительности и стабильности. Все это делает бондер XB8 идеальным для процессов МЭМС, гибридизации, 3D интеграции и LED.


Преимущества установки бондинга:

   


  • Точность бондинга менее 1 микрона
  • Полная совместимость процессов на различных машинах

  • Независимые нагреватели сверху и снизу компенсируют терморазбег и увеличивают точность бондинга

  • Активное охлаждение и быстрый нагрев сокращают время процесса

  • Контролируемая атмосфера в камере (давление до 8 кН и/или вакуум)

  • Обрабатывает подложки до 200 мм и толщину"бутерброда" до 6 мм

  • Для различных типов бондинга используется одна камера

  • Опционально склейка трех слоев одновременно




 


Бондинг стеклянной фритты при 435°С и 415°С


Конечный продукт


   
 

Пост-бондинговая точность менее 1 микрона. Достигнуто при предварительной фиксации подложек лазером (опция лазерного предсовмещения)
Общие характеристики
Размер подложки 100 мм, 150 мм, 200 мм, кусочки
Контроль температуры
Конструкция нагревателя Независимый резистивный керамический нагреватель с активным охлаждением воздуха и опционально многозонным нагревателем
Максимальная температура До 550 °C
Стабильность температуры ± 1.5 %
Воспроизводимость температуры ± 3 °C
Макс. скорость нагрева до 40 K/мин
Макс. скорость охлаждения до 40 K/мин
Сила сцепления
Макс. сила сцепления 60 kН или 100 kН
Воспроизводимость силы сцепл. ± 2 %
Графический интерфейс пользователя
ОС на базе MS Windows
Неограниченное хранилище рецептов (ограничено только размером жесткого диска)
Плоскоэкранный дисплей с клавиатурой и шаровым манипулятором
Рабочая камера
Мин. давление 5x10-5 мбар после 5 мин. закачки
Макс. давление Избыточное давление 2 бар (3 бар абс)
Конструкция чаши Камера из электрополированной нержавеющей стали класса 1 с клиновой задвижкой
Подача материалов
Вакуум <100 мбар абс.
Сжатый воздух 6-7 бар (сжатый сухой воздух)
Азот 5-6 бар
Требования к питанию 208//400 VAC, 60/50 Гц; 50/30 A; 4200 Вт
Вытяжка 600 стандартных литров/мин
Габариты
Высота x ширина x глубина 1469 мм / 778 мм / 1710 мм
Вес 700 кг



Спасибо!
Мы направили вам на электронный адрес
подробное техническое описание оборудования suss xb8


Получить брошюру на почту
Оставьте свой электронный адрес и мы вышлем вам
подробное техническое описание оборудования suss xb8
Нажимая кнопку «Получить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
×
Для получения информации по установке оставьте свои данные и технический эксперт свяжется с вами
Нажимая кнопку «Отправить», я даю свое согласие на обработку моих персональных данных, в соответствии с Федеральным законом №152-ФЗ, на условиях и для целей, определенных в Согласии на обработку персональных данных.
Обратите внимание, что ответ специалиста может занять некоторое время.
×
Наверх