Газовые кабинеты и системы - оборудование

Подбор оборудования


IGS GAS CABINETS/ EQUIPMENT
Системы подачи газов, используемые в полупроводниковой промышленности ко ...
Газовые кабинеты предназначены для работы с опасными газами. Подача технологических газов осуществляется через систему автоматически управляемых клапанов. При критических показаниях датчиков газовых кабинетов происходит автоматическое перекрытие подачи газа. Газовые шкафы позволяют безопасно заменять баллоны с токсичными и взрывоопасными газами. Опасный газ откачивается из отрезка трубы, открываемого на атмосферу.


Также нашей компанией осуществляется подключение технологического оборудования к газовым шкафам. Нами используется газовая арматура Swagelock и Rotarex. Применяется орбитальная сварка.