Оборудование Компоненты Сервис |
Москва, Нижний Сусальный пер. 5, стр. 4
|
Автоматическая платформа для сращивания пластин SUSS XBS200

Предназначена для сращивания предварительно совмещенных пластин размером до 200 мм. Универсальность и модульная конструкция обеспечивают максимальную гибкость процесса при решении всех задач сращивания пластин.
Производитель: SUSS MicroTec
Страна-производитель: Германия
Основные возможности:
- Субмикронная точность совмещения
- Высокая воспроизводимость процесса
- Низкая себестоимость при крупносерийном производстве
- Усилие сращивания: 60 или 100 кН
- Температура: ≤ 550 °C
- Давление: 5x10-5 мбар – 3 бар
- Прецизионный контроль всех параметров процесса сращивания
- Быстрый нагрев (40 K/мин) и активное охлаждение (40 K/мин)
- Размер пластин: до 200 мм
Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта
Автоматическая платформа XBS200 предназначена для сращивания предварительно совмещенных пластин размером до 200 мм. Универсальность и модульная конструкция обеспечивают максимальную гибкость процесса при решении всех задач сращивания пластин. Принципиально новый регулируемый способ передачи пластин исключает проблемы, возникающие при работе с традиционными системами, и обеспечивает надежность результатов процесса и бесперебойность работы. Внедрение платформы XBS200 в крупносерийное производство МЭМС, LED и 3D-устройств позволит значительно снизить себестоимость процесса.
Платформа XBS200 позволяет как перемещать одиночные пластины, так сращивать предварительно совмещенные пластины. Она включает в себя станцию загрузочных/разгрузочных кассет для пластин со встроенным сканирующим устройством разметки и оптическое устройство предварительного совмещения с опциональными ID-считывателями. Дополнительная система камер позволяет контролировать и хранить информацию о процессе.
Модернизированный модуль совмещения XBA, разработанный при использовании запатентованной SUSS MicroTec ISA-технологии (взаимное выравнивание подложек), обеспечивает последовательное совмещение прозрачных или непрозрачных пластин с субмикронной точностью. Система постоянной калибровки является неотъемлемой составной частью модуля XBA и делает автоматическую калибровку и контроль совмещения простым и быстрым.
Камера сращивания XB200 – это модуль на основе автономного бондера для пластин XB8. Благодаря широкому диапазону параметров камера подходит для проведения любого термокомпрессионного процесса сращивания. Воспроизводимость результатов процесса от пластины к пластине позволяет получить продукт стабильно высокого качества. Доступны версии с усилиями сращивания 60 кН и 100 кН и температурным диапазоном до 550°C.
Основные модули
Модуль загрузки материалов MHU-Material Handling Unit
Платформа XBS200 позволяет как перемещать одиночные пластины, так сращивать предварительно совмещенные пластины. Она включает в себя станцию загрузочных/разгрузочных кассет для пластин со встроенным сканирующим устройством разметки и оптическое устройство предварительного совмещения с опциональными ID-считывателями. Дополнительная система камер позволяет контролировать и хранить информацию о процессе.
Модуль совмещения XBA-Bond Aligner
Модернизированный модуль совмещения XBA, разработанный при использовании запатентованной SUSS MicroTec ISA-технологии (взаимное выравнивание подложек), обеспечивает последовательное совмещение прозрачных или непрозрачных пластин с субмикронной точностью. Система постоянной калибровки является неотъемлемой составной частью модуля XBA и делает автоматическую калибровку и контроль совмещения простым и быстрым.
Камера сращивания XB200-Bond Chamber
Камера сращивания XB200 – это модуль на основе автономного бондера для пластин XB8. Благодаря широкому диапазону параметров камера подходит для проведения любого термокомпрессионного процесса сращивания. Воспроизводимость результатов процесса от пластины к пластине позволяет получить продукт стабильно высокого качества. Доступны версии с усилиями сращивания 60 кН и 100 кН и температурным диапазоном до 550°C.
Система поддерживает проведение всех типов сращивания:
- Анодное сращивание (Anodic Bonding)
- Термокомпрессионное сращивание (Thermo-compression Bonding)
- Эвтектическое сращивание (Eutectic Bonding)
- Пайка стеклокристаллическим припоем (Glass Frit Bonding)
- Прямое сращивание (Fusion Bonding)
- Адгезионное (клеевое) сращивание (Adhesive Bonding)
- Временное сращивание (Temporary Bonding)