Установка инспекции пластин в ИК свете Idonus WBI

Установка инспекции пластин в ИК-свете WBI оснащена источником ИК света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.

Производитель: Idonus

Страна-производитель: Швейцария

Организация приемки оборудования
на заводе-изготовителе

В некоторых случаях важным этапом поставки сложного оборудования является его обязательная приемка на заводе-изготовителе. Проведение приемочных испытаний позволяет своевременно выявить возможные недостатки в работе оборудования и быстро их устранить. Поэтому компания ТБС, официальный представитель ведущих мировых производителей высокотехнологичного оборудования, предоставляет своим заказчикам, заинтересованным в ознакомлении с процессом производства оборудования и проверке его качества, возможность посещения Европейских заводов-изготовителей.

Специально для инженерного персонала заказчика, в обязанности которого будет входить работа на выбранной установке, будет организован выезд на территорию завода компании-производителя и обеспечено участие в испытаниях и приемке оборудования. Совместно со специалистами компании ТБС представители заказчика смогут проверить соответствие собранной установки техническому заданию, удостовериться в качестве исполнения и оценить эксплуатационные характеристики на основе тестовых процессов.

Также в рамках визита представители пройдут специализированные тренинги, включающие в себя теоретическую и практическую часть, которые позволят получить подробную информацию о принципах работы, правилах эксплуатации и обслуживания выбранного оборудования. По завершению тренингов специалистам выдается официальный сертификат компании производителя, подтверждающий прохождение сотрудниками профессионального обучения и позволяющий им работать на данном оборудовании.

Двухэтапная приемка (первичная на заводе-производителе и последующая на территории заказчика) облегчает и ускоряет пусконаладочные работы, а также ввод в эксплуатацию оборудования.

Уверенность в сделанном выборе, а также приобретенные персоналом знания и навыки эффективной работы на высокотехнологичном оборудовании будут способствовать успеху и дальнейшему развитию предприятия. Это еще раз позволит по достоинству оценить все преимущества сотрудничества с компанией ТБС.

За более подробной информацией обращайтесь к нашим специалистам.

Штаб-квартира SUSS MicroTec
в Гархинг (Германия)

Штаб-квартира Evatec
в Трюббах (Швейцария)

Штаб-квартира Corial
в Бернин (Франция)

Основные возможности:

Контроль пластин до и после сращивания
Совмещение кремниевых пластин/чипов
Контроль качества
Инспекция отдельных устройств MEMS
Измерение скорости травления скрытых структур (например, КНИ пластин)

Установок в России:

Подойдет ли эта установка для моей технологии?Консультация эксперта

Полное описание

Кремний является прозрачным для инфракрасного света. Источник инфракрасного света установки WBI освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий свет принимает приемник. Таким образом, становится возможным проконтролировать качество сращивания двух кремниевых пластин, чего нельзя сделать на обычном микроскопе.

Установка WBI оснащена источником инфракрасного света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.

Для пластин меньшего размера предусмотрены специальные адаптеры. 200 мм версия WBI оснащена моторизированным приводом держателя пластин.

Для работы системы необходим компьютер с USB портом и Windows 2000 или выше.

Рисунок: /upload/oborudovanie/inspektsiya/wbi/WBI2.jpg

Пластина загружается с передней стороны. Для маленьких пластин может быть использован адаптер.

Пример ИК изображений: С левой стороны показаны две кремниевые пластины после сращивания (фотография CSEM SA). Общая толщина 1.0 мм. Не сращенные площади между двумя пластинами можно увидеть в областях с интерференцией. Изображение справа показывает качество сращивания пластин с уже сформированной на них структурой. Изображение показывает области подтравленных полостей. Также область интерференции показывает области плохого сращивания.