Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200

Проявление экспонированного фоторезиста является одним из наиболее важных этапов, поэтому необходимо уделить особое внимание выбору процесса проявления и его параметров (температура, длительность и т. д.). Модули проявления SAWATEC могут использоваться для проявления наливом или спреем, выбор оптимального процесса производится на основании технических и экономических критериев применения.

В модуле проводится индивидуальная обработка каждой подложки спреем, на экспонированные области постоянно наносится свежий проявляющий агент, чтобы избежать насыщения проявителя. Преимуществом спреевого проявления по сравнению с проявлением наливом заключается в том, что можно отделить структуры очень маленького размера и значительно уменьшить количество проявляющего раствора.

Системы серии SMD предназначены для отмывки и проявления полупроводниковых пластин размером до 8 дюймов и подложек размером до 6х6 дюймов (150х150 мм). Рабочая камера способна вместить полупроводниковые пластины и подложки диаметром до 212 мм.

Системы проявления SMD от SAWATEC являются оптимальным выбором благодаря высокой производительности, низкому расходу материалов, а также надежной воспроизводимости процессов даже на толстых слоях фоторезиста. Благодаря доступному и понятному интерфейсу и простому процессу чистки данные инструменты идеально подходят для лабораторий, научно-исследовательских институтов и пилотных проектов.

Система доступна в качестве встраиваемого или отдельно стоящего модуля.

Характеристики (базовая конфигурация)

• До 50 программ с 24 программируемыми шагами в каждой
• Функция быстрого запуска для повторных процессов
• Простая и доступная конфигурация с помощью сенсорной панели
• Технологические параметры: скорость, ускорение, время обработки, скорость распыляющей руки, время спреевого проявления.
• Рука с электроприводом с динамической или статической функцией.
• В комплект входит линия подачи проявителя и резервуар для материалов для одной системы проявления.
• Сопло для промывки деионизированной водой и сушки азотом на подающей руке.
• Управляющие элементы для дозирования сжатого воздуха и вакуума.
• Возможность выбора направления вращения (по часовой стрелке, против часовой стрелки)
• Загрузка и разгрузка подложек вручную
• Механическая фиксация подложек
• Звуковой сигнал после завершения обработки

Параметры

• Скорость: от 0 до 3 000 об/мин +/-1 об/мин ¹)
• Ускорение: от 0 до 5 000 об/мин за 0,5 сек ¹)
• Время обработки до 2376 секунд
• Продолжительность дозирования 99 сек/сегмент
• Скорость подающей руки от 10 до 200 мм/сек
• Промывка и сушка азотом 99 сек/сегмент
• Нагреваемый купол до 50°C
• Сопло из PEEK 0,8 мм

*1 Для обработки рекомендуется меньшая скорость и ускорение

Дополнительные функции (опции)

• Дополнительные линии проявления (до 4 линий проявителя)
• Ножной переключатель пуск/стоп для простоты эксплуатации (длина кабеля 1,8 м).
• Сепарационная установка для отведения отработанных материалов (резервуар и лабораторное оборудование)
• Система нагрева резервуара проявителя (2 литра)
• Сопло из PEEK (0,3/0,5 мм)

Диапазон вращения держателя

Центробежные держатели доступны в разных размерах, материалах и конструкция для оптимального процесса проявления. В зависимости от случая применения используются механические или комбинированные держатели. Замена держателя производится очень быстро и не требует никаких инструментов.

• Механический держатель от 100 мм (4 дюйма) до 200 мм (8 дюймов) из POM.
• Механический держатель 125x125 мм (5x5”) из POM
• Механический комбинированный держатель из РОМ для маленьких и больших подложек
• Держатели специальной конструкции под заказ

Конструкция и размеры

• Мобильный шкаф из электрополированной нержавеющей стали
• Чаша из полипропилена для высокой совместимости материалов
• Закрытая технологическая камера для безопасности процесса
• Стеклянная передняя дверца для наблюдения за процессом
• Динамический серводвигатель переменного тока для точности скорости
• Размер шкафа: 850 x 750 x 2333 мм (Д x Ш x В)
• Размеры встраиваемой версии: 484 x 400 x 847 мм (Д x Ш x В)
• Вес прим. 240 кг

Шкаф		Встраиваемая версия (BM)

Коммуникации

• 230 В переменного тока 50/60 Гц 16A
• Штепсельный разъем для ножного переключателя
• Сжатый воздух, трубка Ø6/4 мм (6 бар)
• Азот, трубка Ø6/4 мм (6 бар)
• ДИ-вода трубка Ø6/4 мм (6 бар)
• Разъем вытяжки, шкаф Ø76 мм (40–60 м3/ч)

Прохождение процесса на установке Sawatec LRD-250